全球半导体设备用真空泵供应商梳理（60家）

最近半导体投资领域都在关注零部件赛道，所以我也更多地收集和完善相关领域数据这两天我整理一下真空泵相关的供应商数据，不仅增加了好几个新厂商，而且也把产品分类做了调整：把离子泵和分子泵做了拆分

以下内容来自豆包：

1. 工作原理核心差异

分析泵：基于机械压缩原理，通过隔膜往复、涡旋盘啮合等机械运动压缩气体，再通过排气口排出。

离子泵：基于电离吸附原理，利用高压电场电离气体分子，使其被钛电极吸附，无机械运动部件。

2. 关键技术参数差异

真空性能：分析泵极限真空通常为 10⁻²~10⁻⁴ Pa，离子泵可达 10⁻⁷~10⁻¹¹ Pa，后者真空级别更高。抽速特性：分析泵对大气到中真空区间抽速稳定，离子泵在超高真空区间抽速更优，低真空下无抽气能力。污染控制：分析泵多为无油设计但仍有机械密封，离子泵无油、无排气污染，洁净度更高。

3. 结构与驱动技术差异

分析泵：包含电机、密封件、压缩腔体等机械结构，依赖精密机械加工保证气密性。离子泵：由高压电源、钛电极、磁场组件构成，依赖高压电离技术和吸附材料（钛）的溅射再生技术。

其实分子泵里还可以分为润滑脂、全磁悬浮、半磁悬浮 ...后面我也会看看有没有机会做一下区分另外，由于真空泵和尾气处理设备（Scrubber）的供应商有一定重叠，所以我也在表格里一并放置了

详细分类数据的原始文档（《全球设备部件供应商及产品统计_气路液路》），我已经放到了知识星球的云盘上供会员使用。如果您对此类数据有兴趣，欢迎加入我的知识星球后获取 -- 文章最后有详细介绍和加入方式 

我目前收集了近十年的行业数据已经覆盖了八成以上半导体制造上游的供应链链，还有大量的原创行业景气度数据分析和研报。现在所有数据原始文档都贡献出来，给你个一锅端走的机会(云盘直接同步我电脑硬盘随时更新)另外还有大量的线上半导体知识讲座