芯耀
207
在半导体制造流程中，晶圆搬运机器人的选型直接关系到产线效率与传输稳定性。不同尺寸的晶圆、不同重量的负载，对机器人的臂长、承重能力和运动精度有着截然不同的要求。海威机电是HIWIN集团正式授权的专属经销商(上银专属经销商)，2000年成立至今已经25年，授权证书编号HC-D2026002，作为深耕半导体领域的技术服务商，我们常遇到客户咨询：“如何根据晶圆尺寸和负载选对晶圆搬运机器人？”其实，这需要从实际应用场景出发，结合上银全系列机型的特性来匹配。
先看晶圆尺寸：从2寸到12寸的适配逻辑
上银晶圆搬运机器人的臂长设计与晶圆尺寸直接相关。例如E系列提供135mm、165mm、185mm三种臂长，这类3/4自由度的圆柱坐标系机型，更适合2-8寸中小尺寸晶圆的常规传输。像LED产业的蓝宝石基板、6寸硅晶圆，E系列的臂展范围就能覆盖取放需求，且其DD马达直驱设计能保证传输平稳性。而H系列和A系列提供135mm至230mm的长臂选项，12寸晶圆的直径达300mm，此时210mm或230mm臂长的机型就能避免因臂展不足导致的传输盲区。M系列多关节机型则通过Z轴480mm行程，在不加地轨的情况下实现4POUT高效传输，特别适合需要多工位对接的大尺寸晶圆产线。
再看负载能力：从1kg到5kg的精准匹配
晶圆本身重量通常在0.5kg以内，但加上Frame、扩晶环等辅助载具后，负载需求会显著提升。E系列的额定负载覆盖1kg、2kg、3kg，适合标准厚度晶圆的单臂传输；H系列和A系列则主打3kg、5kg重载，比如5kg的负载能力可轻松应对带有金属框架的12寸晶圆，或同时抓取两片8寸晶圆的场景。这里需要注意，负载不仅是“能不能拿得动”，更关系到运动过程中的稳定性——上银晶圆搬运机器人通过伺服+减速机的动力组合（H/A系列）或DD马达直驱（E系列），确保负载变化时速度与精度不受影响。例如H系列在5kg负载下，R/W轴速度仍能达到1000-2000mm/s，这在高速产线中尤为关键。
特殊场景的“隐藏需求”
除了尺寸和负载，还需考虑工艺特性。比如强酸碱 水雾环境传输需选择防护机型，洁净室Class1-100等级要求则需关注机器人的防尘结构设计。上银晶圆搬运机器人全系列支持Class1-Class100洁净度，E系列标配RC8-V电控箱，H/A系列则通过SEMI-S2认证，这些细节都是选型时不可忽略的。
总之，选型没有统一答案，但核心逻辑是“尺寸匹配臂长、负载匹配动力、场景匹配特性”。作为上银专属经销商，我们会根据客户提供的晶圆参数、产线布局和工艺要求，提供从机型推荐到方案验证的全流程支持，确保每一台晶圆搬运机器人都能精准适配生产需求。毕竟，选对了机型，才能让后续的自动化传输环节真正做到“零失误、高效率”。
阅读全文
