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近日，中国半导体设备和半导体材料公司已陆续公布了2025年及2026年一季度财报，为了让大家更清晰地进行对比，MIR 睿工业整理了一份主要厂商的营业总收入和归属于母公司净利润的对比表（排名不分先后），方便大家参考。
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半导体设备
2025年及2026年一季度中国主要半导体设备厂商营收和归母净利润数据统计
数据来源：MIR DATABANK
整体市场
整体来看，在AI算力需求爆发与国产替代加速的双重驱动下，行业延续了营收高速增长的积极态势。从表格公司数据来看，13家厂商中，2025年营收同比增长的达11家，降幅者主要集中在光伏关联企业。营收增长的主力集中在刻蚀、薄膜沉积及测试设备领域——拓荆科技（+58.9%）、中科飞测（+48.8%）、长川科技（+45.3%）、中微公司（+36.6%）等排名靠前，营收增速普遍超过30%。进入2026年一季度，龙头公司营收增速依然坚挺：长川科技（+69.1%）、拓荆科技（+57.0%）、中微公司（+34.1%）、北方华创（+25.8%）等延续了高增长势头。
利润端的表现则远比营收端复杂，呈现出明显的“龙头分化”特征。一方面，部分公司利润增速大幅跑赢营收增速，表现出强劲的经营杠杆释放效应——中微公司2026年一季度归母净利润同比大增197.2%，拓荆科技同比增长488.3%，长川科技同比增长217.6%。这些公司在营收高增的同时，正从“研发驱动型投入”逐步步入“利润释放期”。另一方面，北方华创2025年全年出现了自2014年以来首次“增收不增利”，归母净利润同比下降1.77%；另有部分公司受光伏行业拖累（如微导纳米）、减值计提（如至纯科技）等因素影响，利润端表现远弱于营收。行业整体正从“规模扩张”阶段进入“盈利验证”阶段。
亮点企业
北方华创：研发前置压制短期利润
北方华创2025年全年实现营业收入393.53亿元，同比增长30.85%；归母净利润55.22亿元，同比下降1.77%，扣非净利润53.36亿元，同比下降4.22%，出现了自2014年以来首次“增收不增利”。进入2026年一季度，营收首次突破百亿至103.23亿元，同比增长25.80%；归母净利润16.35亿元，同比仅增长3.42%。
营收增长方面，北方华创表示，集成电路装备领域刻蚀、薄膜沉积、热处理、湿法清洗、离子注入、涂胶显影、键合等多款设备市占率稳步提升，工艺覆盖度及市场占有率增长，营业收入同比增加。利润增速与营收增速之间的显著差异，核心源于主动加大研发投入的战略取舍。2025年全年研发费用达72.77亿元，同比增长46.96%，占营业收入比重升至18.49%。
进入2026年一季度，计入损益的研发费用为14.02亿元，同比增长36.64%，较上年同期增加3.76亿元，即约四分之一的营收增长被研发投入增量直接“吸收”，这是本季度利润弹性低于营收增速的主因。此外，新产品在客户端验证过程中零部件迭代升级成本增加，导致毛利率由42.93%下降至40.10%，也对利润端形成一定压制。利润端也存在积极因素：一季度经营活动产生的现金流量净额7.48亿元，同比增长143.27%，经营回款质量有实质性改善。
中微公司：刻蚀稳健，薄膜放量
中微公司2025年全年实现营业总收入123.85亿元，同比增长36.62%；归母净利润21.11亿元，同比增长30.69%；扣非归母净利润15.50亿元，同比增长11.64%。进入2026年一季度，实现营收29.15亿元，同比增长34.13%；归母净利润9.30亿元，同比大增197.20%，创单季度历史新高。
业务上，刻蚀设备依旧是中微公司核心主业。2025 年这块业务收入近百亿元，保持稳定增长；主力设备市场装机量持续走高，在高端芯片、存储芯片的关键生产工艺上不断取得技术突破，3nm 及以下先进工艺实现持续落地应用。
薄膜设备成为新的增长亮点。2025 年相关业务收入翻倍暴涨，设备出货量快速攀升，多款新品通过头部客户验证并拿到量产重复订单。目前薄膜相关设备已正式推向市场，客户覆盖范围持续扩大，2026 年一季度依旧保持高增长，正式进入批量放量阶段。
本次财报最大亮点是利润大幅提升。2025 年公司加大研发投入，投入金额同比大增，高额研发投入也拉低了主业利润增速。2026 年一季度研发投入增速有所放缓，成本压力有所缓解，整体盈利水平稳步回升。一季度高额净利润里，包含了变卖部分股权带来的近 4 亿元额外收益；扣除这笔一次性收益后，公司主业利润依旧同比大增六成。即便依旧维持高比例研发投入，主业赚钱能力也已经明显变强，盈利增长进入新的阶段。
拓荆科技：Q1盈利水平大幅提升
拓荆科技2025年全年实现营业收入65.19亿元，同比增长58.87%；归母净利润9.27亿元，同比增长34.67%。2026年一季度实现营收11.12亿元，同比增长56.97%；归母净利润5.71亿元，同比增长488.29%，归母净利润单季度创历史新高。
营收高增主要来自PECVD业务的快速放量。2025年PECVD设备收入51.42亿元，同比增长75.27%，基于新型设备平台和新型反应腔开发的PECVD Stack（ONO叠层）、ACHM以及PECVD Bianca等先进产品批量通过客户验证，规模化量产转化为收入；ALD设备收入3.01亿元，同比增长191.82%，PE-ALD等多款设备量产规模快速提升，首台TiN产品通过客户验证。混合键合设备实现收入1.36亿元，同比增长41.92%，多台晶圆对晶圆键合设备通过验收。拓荆科技表示，应用于先进制程领域的设备批量获得客户验证通过，量产规模进一步扩大，导致销售收入大幅增长。
2025年公司毛利率为34.95%，同比下降6.73个百分点，与先进制程新品验证有关——先进制程新品在客户端验证过程中毛利率阶段性偏低。但该趋势在2026年一季度根本性逆转：毛利率环比继续提升3.5个百分点至41%，推测受益于先进制程产品验收通过及新产品逐步放量带动的毛利率修复。
长川科技：业绩连续爆发式增长
长川科技2025年全年实现营业收入52.92亿元，同比增长45.31%；归母净利润13.31亿元，同比大增190.42%。2026年一季度实现营收13.78亿元，同比增长69.09%；归母净利润3.53亿元，同比增长217.60%。
营收增长方面，整机产品合计贡献营收47.71亿元，占总收入90.17%；分选机营业收入15.68亿元，同比增长31.76%。长川科技表示，2025年面对全球半导体行业复苏和国产化替代加速的双重机遇，通过优化客户服务体系与强化内部管理效能，有效应对外部不确定性；国际化战略深入实施，海外产能布局成效显著，多重因素助力销售额、净利润实现较大幅度增长。
利润端的高增长不仅源于营收规模的快速扩张，也受益于产品结构的优化和毛利率的改善。2025年测试机毛利率达62.25%；分选机毛利率为41.34%，同比提升4.99个百分点。
半导体材料
2025年及2026年一季度中国主要半导体材料厂商营收和归母净利润数据统计
数据来源：MIR DATABANK
整体市场
整体而言，在国产替代深化与下游晶圆产能持续扩张的双重驱动下，行业营收体量加速扩容；与此同时，材料环节较设备环节周期性更靠后的特征初步显现，营收增长与盈利状况在细分领域间出现显著分化。
从表格公司数据来看，12家厂商中，2025年营收同比增长的达10家。营收增长的主力集中在电子特气、高纯化学及掩膜版等高壁垒品类领域——有研新材（+60.72%，特气业务驱动）、南大光电（+18%）、清溢光电（+11.46%）等表现稳健。处于光伏及竞争性硅片赛道的公司则面临持续承压。
利润端的表现， 一方面以北方华创为代表的平台型设备龙头，2025年出现了罕见的营收高增、利润微降格局；另一方面，沪硅产业（-15.08亿元）、天岳先进（-2.08亿元）等硅基材料赛道的企业，2025年净利润亏损持续扩大，反映出全球半导体硅片行业仍处于价格承压与产能爬坡的盈利蓄力期。
亮点企业
TCL中环：光伏亏损持续，半导体业务突围
TCL中环2025年全年实现营业收入290.50亿元，同比增长2.22%；归母净利润亏损92.64亿元，同比减亏5.65%；扣非净利润亏损97.68亿元，同比减亏10.39%。进入2026年一季度，实现营收65.49亿元，同比增长7.34%；归母净利润亏损16.47亿元，同比减亏13.62%，较2025年四季度单季亏损34.87亿元环比大幅减亏52.8%。
2025 年TCL中环光伏板块整体收入虽有规模，但整体盈利表现很差，硅片业务收入有所下滑、处于亏损状态；电池组件业务虽然营收大幅增长，但依旧没能实现盈利。核心原因是光伏行业整体供大于求，市场需求偏弱，上下游价格传导不通畅，再加上年底原材料涨价、产品售价低迷，还有大额资产减值计提，进一步拉低了全年利润。
虽然光伏业务表现低迷，但TCL中环半导体材料板块发展亮眼。2025年这块业务营收稳步增长，盈利水平也明显提升，营收和出货量都稳居国内行业前列，已经成为稳住公司业绩、带动后续增长的核心新业务。
有研新材：靶材驱动高增长
有研新材2025年全年实现营业收入95.42亿元，同比增长4.33%；归母净利润2.65亿元，同比大幅增长79.29%，主业盈利能力显著提升。进入2026年一季度，实现营收29.57亿元，同比大增60.72%；归母净利润8827.11万元，同比增长31.00%。
营收增长方面，有研新材在业绩说明会中表示，2025年度公司营业收入同比增长4.33%，主要是公司薄膜材料产品、红外光学产品销量增加所致。从细分板块看，薄膜材料产品收入22.88亿元，同比大幅增长44.02%，其中靶材产品收入同比增长超过50%。有研新材表示，靶材销售收入同比增长超过50%，成为公司业绩增长的核心驱动力，12英寸铜锰靶材通过全球半导体头部客户验证，批量应用规模进一步扩大。
归母净利润的大幅增长，其驱动因素清晰体现在以下三个方面：
高附加值产品放量——靶材业务作为核心增长引擎，“销售收入同比增长超过50%”且产品持续向高端演进（通过多家先进逻辑、先进存储和先进封装客户验证）；
非经常性损益贡献——非经常性损益合计5020.68万元，其中控股子公司有研稀土对外转让硫化锂相关技术实现转让收益10757.60万元，对归母净利润影响约4841万元，成为非经常性损益的核心来源；
稀土业务亏损减少——公司公告明确提到“控股子公司有研稀土亏损减少”也是业绩提升的重要原因。扣非归母净利润增速（+88.23%）高于归母增速（+79.29%） ，表明主营业务的质量改善是利润增长的根本来源。
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