蚀刻设备龙头中微公司遭美国国防部列入黑名单！

美国国防部于2021年1月14日再将9家中国企业列入由中国解放军方拥有或是控制的中国企业名单中，称之为国防部黑名单，其中更包含陆系半导体蚀刻设备龙头中微公司。

中微公司是唯一能切入 7nm 以下先进制程产线的陆系设备商

中微公司的全称是中微半导体设备(上海)，大基金曾于 2015 年注资 4.8 亿元人民币，取得其 7.5%股份。从中微公司的股权结构来看，截至 2020 年第三季，上海国有资产监督管理委员会间接持有 18.02%股份，大基金间接持有 17.45%股份，国开金融公司则持有 2.88%股份，总计国有资本的持股将近 4 成。

中微公司的主力产品是蚀刻设备，同时也布局化学气相沉积设备，惟后者主要面向 LED 制造。

在蚀刻设备部分，主要是介质蚀刻领域的等离子蚀刻设备，可应用于 8～12 吋晶圆，满足 65～5nm 制程需求。中微公司的后段蚀刻设备已经切入台积电 7nm 产线，另外应用于 5nm 产品也通过台积电验证，是现阶段唯一能切入国际大厂 7nm 以下先进制程产线的陆系设备商。

除了台积电外，中微公司的主要客户还有中芯国际、华虹集团、长江存储等中国本土一线大厂，是中国半导体制造自主化的指标企业。

表：中微公司主要布局之设备与供应商

Source：拓墣产业研究院整理，2021/01

美国国防部黑名单具宣示意义，惟对中微公司之实质影响不大

美国国防部系根据 1999 年国防授权法第 1237 条(Section 1237 of the National Defense Authorization Act for Fiscal Year 1999)，列出中国军方拥有或是控制的中国企业名单。

根据美国总统 Trump 签署的行政命令，美国投资人必须于 2021 年 11 月 11 日前出清名单上中国企业的持股，预期国防部黑名单将限缩中微公司的融资管道。

由于中微公司已获得国有资本大力支持，且该厂商更是我国半导体蚀刻设备龙头，为我国实现半导体制造自主化的指标厂商，在我国资金与政策支持下，美国限缩其融资管道的影响将相对有限，宣示意义较浓。

接下来的观察重点则是美国是否会采取中芯国际模式，先由国防部将中微公司列入黑名单，再由商务部将中微公司列入实体清单(Entity List)。毕竟中微公司开发的蚀刻设备，仍须仰赖国际大厂供应部分零组件，一旦遭列入实体清单，势将影响其设备之研发与制造。