芯耀
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在半导体、光伏及光学等领域的石英部件清洗中，水平式与垂直式石英清洗机各有千秋。二者在结构设计、工艺适配性、应用场景等方面存在显著差异：
一、核心优势对比
水平式清洗机
高效批量处理：采用多槽分段清洗系统（酸洗/碱洗/超纯水冲洗），结合高压喷淋（0.3~0.8MPa）与兆声波技术，可清除亚微米级颗粒及复杂污染物。例如，针对半导体石英炉管的碳沉积问题，可选配高温热解模块（800℃惰性气体环境）恢复热传导性能。
大型工件兼容性：卧式布局支持2寸至12寸石英舟、Boat等大型部件，通过定制夹具适配多样化生产需求，关键部件寿命达2000小时以上。
节能与环保：废液回收率≥85%，搭配热泵干燥技术降低能耗40%以上，符合环保标准。
垂直式清洗机
精密低损伤清洗：垂直设计减少交叉污染风险，适用于高精度光学元件及薄型石英件。采用氟橡胶吸盘夹持系统和静电消除模块，避免机械划伤或静电吸附，洁净度可达ISO Class 1级别。
先进封装适配性：支持模块化扩展（如等离子清洗单元或真空干燥模块），满足第三代半导体（SiC/GaN）及Low-K介电层材料的无水痕残留需求。
空间优化：垂直堆叠设计节省洁净室空间，适合研发实验室或小规模量产场景。
二、适用场景选择
优先选水平式：
大尺寸石英件（如长筒状炉管）清洗；
需连续24小时运行的工业级产线（如光伏坩埚批量清洗）；
强调高废液回收率与能耗控制的场景。
优先选垂直式：
薄型/脆性石英件（如光学透镜、晶圆承载器具）；
需灵活扩展功能的实验线或小批量定制生产。
总之，芯矽科技的水平式与垂直式石英清洗机分别以“高效批量”和“精密低损”为核心优势,覆盖从研发到量产的全场景需求。
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