什么是die-attach?
Die-attach(中文通常称为固晶、贴片或芯片粘接)是半导体封装工艺流程中极其关键的第一道物理组装工序。它的字面意思就是“把裸芯片贴附(Attach)到基板或引线框架上”。在这个步骤之前,芯片还只是晶圆上被切割下来的一小块硅片;在这个步骤之后,芯片才真正在封装体内部“安家落户”。Die-attach 的三大核心目的:
机械支撑 : 将脆弱的硅芯片牢固地固定在基板或引线框架上,使其能够承受后续的打线压力。
散热: 芯片工作时会产生大量热量,Die-attach 层是热量传导到基板和外部散热器的第一道物理桥梁。
电气连接: 对于某些功率器件(如 MOSFET 或 IGBT),芯片的背面本身就是电路的一个电极(通常是漏极或集电极),此时 Die-attach 材料必须具备极佳的导电性,直接作为电流通道。
固晶机的标准动作?
以最常见的银胶贴片为例,一台全自动 Die-attach 机台(Die Bonder)的高速运作通常包含以下几步:
点胶 (Dispense): 点胶头在引线框架中心精准地点下一滴银胶(图案通常是“米”字形或雪花形,以利于胶水向四周扩散)。
顶起 (Ejection): 晶圆被贴在蓝膜上,底部的顶针(Ejector Pin)将目标芯片轻轻顶起,使其脱离蓝膜的粘性。
拾取 (Pick): 上方的真空吸嘴(吸头)精准吸住芯片表面,将其拿走。
贴装 : 机械臂将芯片移动到基板上方,以设定的压力(Bond Force)和时间压在刚才点好的胶水上,确保胶水均匀覆盖芯片底面且没有气泡。
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