2026年,全球半导体资本支出预计将再创新高,AI算力的爆发成为这一轮增长的核心驱动力。从芯片制造到先进封装,从光通讯到数据存储,半导体设备正迎来一波由技术迭代驱动的更新浪潮。

图 | 半导体设备市场规模情况;来源:SEMI
根据SEMI最新发布的《年终总半导体设备预测报告》显示,2025年全球原始设备制造商(OEM)的半导体制造设备总销售额预计达1330亿美元,同比增长13.7%,创历史新高;2026年、2027年有望继续攀升至1450亿和1560亿美元。
在这样的大背景下,精密运动控制作为半导体设备中不可或缺的一环,正面临前所未有的挑战与机遇。
在2026慕尼黑上海光博会上,与非网主分析师夏珍专访了Aerotech(艾罗德克)亚洲市场总监卢旭钦,围绕半导体设备中的精密运动控制技术展开深入交流。
成立于1970年的Aerotech,总部位于美国匹兹堡,是一家以技术创新为核心的私人公司。公司最早为美国军方提供精密运动控制解决方案,如今已发展成为全球领先的驱控系统和纳米平台供应商。其产品涵盖驱动控制器、纳米运动平台以及完整的激光加工系统,广泛应用于半导体、激光加工、光通讯、数据存储等高精度制造领域。

图 | Aerotech亚洲市场总监卢旭钦
卢旭钦指出,AI带来的算力需求激增,正全面推动高性能芯片、先进封装与高速光通讯的技术演进,而这些变革也对运动控制设备提出了更高要求。
他进一步分析,AI算力的爆发正在牵引芯片制造迈向2nm及更先进制程,并在封装端催生了2.5D、3D封装及Chiplet异构集成等复杂形态。与此同时,为解决数据传输瓶颈,光电共封装(CPO)技术应运而生。这些前沿技术对于半导体设备来说,其共同逻辑在于对物理空间定位精度的要求已跨入纳米时代。
“以CPO为例,多通道光纤校准的精度与效率要求大幅提升,传统的单通道对准已捉襟见肘,”卢旭钦举例道,“这迫切需要一套更精密的运动控制系统,通过算法与硬件的深度耦合,实现高效、高精度的多维对准。”
为攻克这些行业痛点,Aerotech构建了完整的软硬件一体化解决方案:
在硬件层面,Aerotech 推出了多轴纳米运动平台系统。该架构突破了传统串联机构的累积误差瓶颈,各轴向均可实现纳米级定位,完美胜任光纤阵列在复杂空间中的微纳米级调整。此外,从高动态 XY 扫描平台到 Z 轴加曲型垂直对准模组,Aerotech 丰富的模块化产品线可根据晶圆级封装或 CPO 组装的具体逻辑进行灵活“魔方化”组合。
在控制与算法层面,Aerotech Automation1自研驱动系统将多轴联动与多通道光纤校准算法融为一体。Automation1从控制到算法都为CPO封装提供了技术上的保证。与此同时,Aerotech正在申请PICAlign专利,这是多通道光纤校准方面的技术创新和突破。这将为CPO封装多通道光纤校准工艺流程,提供里程碑式的范例。
卢旭钦认为,Aerotech 的核心护城河在于“驱控一体”的全栈整合能力。区别于零散的硬件堆砌,Aerotech 实现了从底层驱动架构到上层工艺算法的闭环自研。这种“软硬协同”的优势,在应对先进封装中“纳米级精度”与“高吞吐量”这对天然矛盾时尤为显著——它不仅解决了定位精度问题,更通过控制逻辑的深度优化大幅缩减了对准耗时,提高了光纤对准效率,助力客户在 AI 芯片的量产竞赛中抢占先机。
面对日益复杂的全球供应链局势,卢旭钦坦言,Aerotech 坚持美国总部集中生产与成熟的供应链管理模式,确保了核心部件的高品质与交付稳定性。尽管部分高端产品受出口管制限制,但公司始终致力于在合规框架下,为中国市场量身打造适用的技术路径与支持体系。
谈及 Aerotech 的长青之道,卢旭钦将其归结为三点:深厚的技术积淀与前沿应用的同频进化、驱控一体的系统级方案能力、以及对研发投入近乎执着的专注。
未来,随着 AI、先进封装与硅光技术的交织演进,精密运动控制正从“幕后推手”走向“台前核心”,成为决定半导体设备性能上限的关键。对Aerotech而言,如何在前沿应用中持续提供稳定可靠的解决方案,是其长期立足市场的根本。
来源: 与非网,作者: 夏珍,原文链接: https://www.eefocus.com/article/1978659.html
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