激光衍射传感器的基本工作原理 激光衍射传感器的特性及用途

激光衍射传感器是一种常见的测量设备，它通过测量光的散射来获取待测物体的距离或大小信息。其基本工作原理是将激光束照射到待测物体上并收集被散射的光，通过分析散射光的强度、波长和相位等信息来计算出物体的相关参数。

激光衍射传感器具有高精度、高灵敏度、非接触式等优点，广泛应用于机械制造、材料测试、医学影像等领域。此外，还可用于测量半导体芯片、薄膜厚度、表面形貌等微小结构的尺寸和形态。

1.激光衍射传感器的基本工作原理

激光衍射传感器通过发射激光束并将其聚焦在待测物体上，其中的激光散射过程是指当一束光照射到一个物体表面时，它会被反射、折射和散射。激光散射通常包括Rayleigh散射和Mie散射两种形式。

当光束照射到物体上时，部分光线受到障碍遮挡而无法返回传感器。剩余的光线被散射，并以球面波的形式向各个方向传播。这些球面波与其他散射波相干干涉后会形成典型的衍射图案。

2.激光衍射传感器的特性及用途

除了高精度、高灵敏度和非接触等优点外，激光衍射传感器还具有可测量多参数、测量范围大、分辨率高、抗干扰能力强等特点。此外，由于其精度高、响应速度快、适应性强等特点，激光衍射传感器在医学影像领域广泛应用。

在工业上，激光衍射传感器常被用于测量各种材料的直径、厚度和形变等物理参数。此外，还可用于快速检查裂纹缺陷、精密机床随动调节和自动定位等方面。