2000
扩散硅压力传感器是一种常见的压力传感器，其工作原理是通过测量硅薄膜受到的压强来求得被测介质的压力值。
下面分别介绍扩散硅压力传感器的特点和应用：
1.扩散硅压力传感器特点
扩散硅压力传感器具有以下特点：
- 精度高：可以达到0.1%或更高的精度
- 响应速度快：一般在纳秒级别，适用于高速测量场合
- 稳定性好：长期使用不会发生漂移
- 适用范围广：可测量几乎所有介质的压力
- 体积小、重量轻、易于集成
2.扩散硅压力传感器应用
扩散硅压力传感器广泛应用于以下领域：
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