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湿法设备全生命周期管理 ① 湿法设备:湿法清洗、湿法刻蚀、晶圆干燥、电镀、CDS、SDS、种植体酸蚀清洗设备 ② 配件国产:氟制品配件、PFA管、PFA接头、隔膜阀、风囊泵、隔膜泵、在线加热器、加热丝、PFA绝缘线缆等 ③ 湿法设备检测服务:常规检测、专项诊断、升级改造 收起 展开全部

产业链 半导体半导体设备 收起 展开全部

  • 湿法清洗设备

    晶圆材质:Si,SiC,GaN,GaAs, sapphire, glass, 操作方式:手动、半自动、全自动 晶圆尺寸:50mm - 200mm(可做兼容模式) 每批最大处理量:50 处理工艺:干进干出、干进湿出 槽体功能:高压喷淋、循环、过滤、加热、超声、CDR、干燥 化学药液:SC1,SC2,APM,DHF,SPM,HPM,HCL, 干燥系统:IPA干燥,马兰戈尼干燥 设备稳定性:金属附着量:

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