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湿法设备全生命周期管理 ① 湿法设备：湿法清洗、湿法刻蚀、晶圆干燥、电镀、CDS、SDS、种植体酸蚀清洗设备 ② 配件国产：氟制品配件、PFA管、PFA接头、隔膜阀、风囊泵、隔膜泵、在线加热器、加热丝、PFA绝缘线缆等 ③ 湿法设备检测服务：常规检测、专项诊断、升级改造收起展开全部

产业链半导体半导体设备收起展开全部

湿法清洗设备
晶圆材质：Si,SiC,GaN,GaAs, sapphire, glass, 操作方式：手动、半自动、全自动晶圆尺寸：50mm - 200mm（可做兼容模式）每批最大处理量：50 处理工艺：干进干出、干进湿出槽体功能：高压喷淋、循环、过滤、加热、超声、CDR、干燥化学药液：SC1,SC2,APM,DHF,SPM,HPM，HCL，干燥系统：IPA干燥，马兰戈尼干燥设备稳定性：金属附着量：

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