芯耀
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一、引言
TFT-LCD（薄膜晶体管-液晶显示）面板作为主流显示器件，其制造涉及Array、Cell、Module等多道精密制程，过程中易受异物污染、工艺偏差、静电损伤等因素影响，产生亮点、暗点、线路断短路等缺陷，直接降低产品良率并提升生产成本。激光技术凭借非接触、高精度、热影响区小的独特优势，成为TFT-LCD面板缺陷修复的核心技术手段。通过精准调控激光参数，可实现对微观缺陷的高效修复，显著提升面板良率、降低生产损耗，对推动显示产业高质量发展具有重要现实意义。
二、激光修复的核心技术原理支撑
激光在TFT-LCD面板修复中的应用，核心依托激光的热效应、光化学效应及物理冲击效应，结合面板材料特性与缺陷类型实现精准修复。热效应通过局部精准加热，使冗余导电材料气化剥离或断路线路熔化重连；光化学效应利用光子能量引发材料化学改性，适配热敏感区域缺陷修复；物理冲击效应则借助激光脉冲的机械力去除微小异物。修复过程中，通过调控激光波长、脉冲宽度、能量密度等参数，可精准控制作用范围与效果，避免损伤周围正常像素与线路结构，保障修复后面板的显示性能。
三、激光在TFT-LCD面板修复中的具体应用场景
（一）点缺陷修复应用
点缺陷是TFT-LCD面板最常见的缺陷类型，主要包括亮点和暗点，激光修复在该领域的应用最为成熟。对于亮点缺陷，主流应用两种技术路径：一是BM（黑色矩阵扩散）修复技术，利用激光在缺陷像素的彩膜与玻璃基板间形成微小间隙，推动周围黑色矩阵材料颗粒填充间隙并遮光，消除漏光亮点；二是DM（直接法）修复技术，通过高能量激光使缺陷区域的彩色滤光片或ITO透明电极碳化，降低透光率实现亮点暗化。针对暗点缺陷，激光退火技术应用广泛，通过精准加热TFT半导体层，改善其晶体结构与载流子传输特性，恢复晶体管开关功能，从而消除暗点。
（二）线缺陷修复应用
线缺陷主要表现为数据线、栅极线的断短路，直接影响信号传输，激光修复可有效解决此类问题。在断路缺陷修复中，激光诱导化学气相沉积技术应用广泛，通过激光能量激活沉积气体，在断路处精准沉积金属或透明导电材料，重建线路连接；同时，激光热效应也可用于线路熔化重连，适用于金属线路断路场景。对于短路缺陷，激光精准切割技术发挥核心作用，利用高能量激光将短路处的冗余导电材料、搭接异物气化剥离，实现相邻线路的绝缘分离，恢复线路正常信号传输功能。
（三）不同制程阶段的修复应用
激光修复在TFT-LCD面板制造的关键制程阶段均有应用，形成全流程缺陷管控。在Array段，主要针对阵列基板的TFT元件、栅极/数据线等缺陷进行修复，保障后续Cell制程的基础性能；在Cell段，聚焦液晶盒封装后的点缺陷修复，采用低损伤的BM/DM修复法，避免损伤已封装的液晶结构；通过分阶段修复，可及时消除各制程缺陷，避免缺陷累积放大，最大化提升最终产品良率。
四、激光修复应用的关键保障技术
激光修复应用的精准高效实施，依赖三大关键保障技术：一是亚微米级高精度定位系统，结合高分辨率光学成像与AI视觉识别算法，可快速精准定位缺陷位置并识别缺陷类型，为修复提供精准坐标；二是动态激光参数调控技术，根据缺陷类型、材料特性实时调整激光波长、脉冲宽度、能量密度等参数，确保修复效果与安全性；三是超高精度运动平台与洁净环境控制，保障修复过程的稳定性，避免环境异物二次污染，确保修复后面板性能一致性。
显示面板激光修复设备：精密修复解决方案
新启航水冷激光修复设备搭载NW激光器，整合精密光学系统、镭射加工/观测专用显微镜及光学物镜，构建起高精度修复核心架构。设备采用X/Y轴自动精细调节、Z轴半自动智能调节模式，搭配大理石精密光学基础载物平台，以卓越的稳定性和操控性，实现对工件特定材质层短路缺陷的精准修补，展现出强大且专业的镭射修复能力。
一、多元适配的应用场景
本设备专为TFT-LCD系列液晶面板修复设计，可覆盖15.6寸至120寸全尺寸范围，精准攻克LCD面板常见不良现象。无论是恼人的亮点、暗点，还是复杂的断半线、竖彩线、竖彩黑线、单竖黑线、双竖黑线及横网等缺陷，都能通过先进的镭射修复技术快速处理，为液晶面板品质提升提供可靠保障。
二、智能协同的先进控制系统
设备采用前沿多线程技术、COM技术，深度融合运动算法与图像视觉算法，实现电机驱动系统、激光控制系统、图像识别系统的高效联动。凭借微米级精准控制能力，可快速、准确锁定产品缺陷点。此外，设备提供全自动四孔鼻轮调焦功能，并支持选配四孔电动鼻轮，满足多样化使用需求。同时，简洁直观的操作界面设计，大幅降低操作人员的学习成本与使用门槛。
三、灵活高效的高兼容性软件系统
针对不同型号激光控制器通讯协议的差异，本设备软件系统进行深度优化。通过将多种激光器通讯协议集成于同一软件，操作人员仅需通过简单的软件选项，即可激活当前使用的激光器。这种设计使激光器对操作者完全透明，让操作人员专注于工艺与功能实现，无需关注激光器具体型号差异，显著提升工作效率与便捷性。
