芯耀
与非AI
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引言
火箭发动机燃料阀是推进系统核心部件，负责精准控制燃料输送，其密封面平面度直接影响密封可靠性与运行稳定性。燃料阀工作于高温、高压工况，微小平面度偏差易导致燃料泄漏、阀件卡涩，危及发射安全。传统检测方法精度难以满足微米级检测需求，白光干涉测量凭借非接触、高精度、高分辨率优势，成为燃料阀平面度精密检测的关键技术，应用研究具有重要航天工程价值。
白光干涉测量原理
白光干涉测量基于迈克尔逊干涉原理，以宽光谱白光为光源，光束经分光镜分为测量光与参考光，分别投射至燃料阀密封面与标准参考镜，反射光汇聚形成干涉条纹。通过采集不同位置干涉信号，可重构密封面三维形貌，其垂直分辨率达亚纳米级，能精准捕捉微观缺陷，避免接触式测量对精密密封面的损伤，高效获取平面度数据。
测量实验设计与结果
实验选取火箭发动机燃料阀硬质合金密封面为被测对象，采用高精度远心光路白光干涉测量系统。实验前对密封面进行精密清洁，去除杂质避免信号干扰，调节系统扫描参数确保数据完整性，通过多组重复测量验证结果可靠性。实验表明，测量误差控制在3nm以内，可精准识别密封面微小平面度偏差，最大偏差达28nm，为燃料阀质量管控、精密修复提供精准数据支撑，满足航天级检测要求。
多功能面型干涉仪——大视野平面度/纳米精密测量设备
单台设备搞定全维度精密测量，一站式覆盖微纳级平面度、深孔台阶、陡峭锥面角度及3D轮廓检测，高效适配各种硬密封零部件测量需求。
四大核心技术革新，突破行业测量瓶颈
一键自动扫描：彻底破解传统光学测量在高精度工况下“深度受限、视野偏小”的行业痛点，全面兼容平面度、台阶高度、多面平行度、锥孔等多维度精密测量需求，适配喷油嘴核心部位检测。
（实测喷油器密封端面 平面度变形 0.35um）
多台阶面平行度测量能力，市面上非常多的面型干涉仪，局限于单一平面的平面度测量，无法实现多台阶的平面一体化分析。我们解决了70mm台阶测量能力，重复精度满足5nm再现性。
自动化批量测量模式：单幅视野可达23×18mm，支持最大200mm视野全自动跑点测量，大幅提升批量检测效率；针对更大视野、更高精度的定制化需求，可提供专属非标解决方案，灵活适配不同生产场景。
深锥孔角度精准测量：打破传统面型测量仪功能单一的局限，在保障微纳级平面度测量精度的基础上，同步实现陡峭锥面、深锥孔角度的精准检测，适用场景更广泛，检测能力更全面。
上下平面平行度专属检测：采用独特光路设计，可实现非/透明产品的厚度与上下平面平行度同步测量，无需额外设备，简化检测流程，提升检测效率。
新启航半导体——专业综合光学3D测量解决方案提供商，以核心技术赋能精密制造，为喷油嘴等零部件检测提供高效、精准、便捷的全流程服务！
