替代LTPO！LG Display 6代线攻坚HMO背板技术

CINNOResearch产业资讯，LG显示正在研发高迁移率氧化物（HMO，High Mobility Oxide）薄膜晶体管（TFT）背板新技术，计划用于6代线中小尺寸OLED产品。继低温多晶氧化物（LTPO）TFT之后，苹果将HMO视作下一代低功耗背板备选方案并展开评估，LG显示由此正式启动该项技术验证工作。

据业内6月1日消息，获悉LG显示已在6代中小尺寸OLED产线推进HMO技术的开发与验证。一位业内人士表示：“HMO相关技术与设备已进驻6代产线，用于研发和试样验证。”目前该技术具体立项研发时间尚未对外披露。不同于三星显示在8.6代产线采用原子层沉积（ALD）工艺，LG显示选择依托溅射设备量产制备HMO。

业内普遍预判，苹果手表等智能穿戴OLED屏幕，或将成为LG显示HMO技术的首个落地应用场景。另一位行业人士透露：“据了解，LG显示计划自明年起率先向智能手表终端供货。苹果不倾向单一供应商独家供货，偏好二供、三供的供应链多元化策略，以此在议价中占据优势。”

HMO是用于显示屏驱动电路TFT的技术路线之一。TFT属于半导体元器件，通过管控电流通断实现开关控制，现有技术主要分为非晶硅（a-Si）、低温多晶硅（LTPS）、LTPO、氧化物四大类。

其中氧化物技术无需像LTPS、LTPO那样经过激光晶化、离子注入等工序，具备天然低功耗优势。LTPO融合了LTPS与氧化物两者优势并广泛应用在中小尺寸OLED面板，而HMO则在氧化物原有基础上进一步深挖低功耗、低成本的技术优势。

传统氧化物材料电子迁移率偏低，是其在高分辨率、高刷新率OLED产品中驱动性能受限的短板；当前量产级氧化物电子迁移率普遍低于10cm²/Vs，行业为下一代IT类OLED用氧化物定下30~50cm²/Vs的迁移率目标，提升氧化物电子迁移率正是HMO技术的核心攻关方向。

LG显示选用的溅射工艺是氧化物制程常用的成膜方式，优势在于易兼容现有成熟制程、可沿用存量量产设备，但难点在于HMO需要同时满足高电子迁移率、大面积成膜均匀性与长期可靠性三项指标。

LG显示发力HMO研发，与苹果下一代OLED产品技术迭代规划深度绑定。行业惯例是：苹果先联合LG显示在手表产品上完成新技术验证，待拓展至手机端时，再同步要求三星显示、LG显示两家面板厂商共同开发落地。

业内相关人士称：“各大面板厂早已自主布局HMO研发。过往苹果新背板技术均先和LG显示在手表端验证，进入手机量产阶段后再扩容至三星、LG双供应商。本次HMO项目与此相似，应用范围除手机外，还将延伸至IT类OLED产品。”

不过HMO的落地机型与量产时点仍未敲定，最终能否商用取决于客户产品规划与设备验证结果。LG显示仍需依托6代产线完成HMO量产可行性验证，电子迁移率、制程温度、成膜均匀度、产品可靠性与良率是验证成败的关键指标。