流程变更通知 PCN42- 2020
晶圆厂工艺变更 TM2703
描述和目的:
此 PCN 的目的是通知客户即将进行的流程更改
TM2703 系列器件。TM2703 器件的当前金属间电介质 (IMD) 工艺使用 FOX 流程,拟议的更改将包括 IMD 流程的更改,FOX 到 SOG 流程(其他流程详细信息包含在第 3 节中)。提出这个原因变化是 UMC 在其工艺中停止使用 FOX 材料。
SOG IMD工艺是联电的成熟工艺,目前已用于大规模生产,在 UMC Fab 8AB 和 AMS 制造的其他 AMS 产品已出货数百万这些产品。Fab8AB的SOG IMD工艺认证已经完成并通过。
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