从2020年延续至今,“缺芯”在半导体圈子一直都是热门话题,强劲且持久的需求促使半导体设备供应也变得紧俏,有望进入一个全新的发展阶段。市调机构MarketandMarket报告指出,2020年,全球半导体制造设备市场估计为624亿美元,预计到2025年将达到959亿美元,年复合增长率为9.0%。

 

作为全球前十大晶圆制造设备,ASM同样保持着高速增长。ASM中国区总经理徐来表示:“2020年,ASM总营收相较于2019年增长了18%,主要的增长领域是原子层沉淀(ALD),占据了设备收入的一半以上。”在ASM的官网可以看到这样一句话:近年来,我们将ALD和等离子增强原子层沉积(PEALD)从研发一直带到了先进制造商的主流生产。在此,他特别强调,他所讲到的数据是和ASMI(ASM国际)相关,而不是ASMPT(ASM Pacific Technology),前者专注于前段产品,后者则侧重于封装。

 

ASM营收数据图

 

ALD是半导体器件制造中的重要过程,可以在原子层水平上控制膜厚度和材料,并且被认为能够形成极薄且致密的膜。近年来,基于物理定律的摩尔定律对电子设备的小型化的需求已成为主要驱动力,因此ALD的研究和开发变得非常活跃。

 

徐来指出,ALD设备是ASM的拳头产品,“我们的ALD分为两类,一类和热相关;一类和等离子相关。根据VLSI Research(2019)的数据,我们的单晶圆ALD全球市场份额为53%。随着ALD收入实现两位数的显着增长,我们相信我们在2020年将保持强劲的领先地位。”

 

ASM部分ALD设备

 

在全球半导体设备市场高速增长的大背景下,中国半导体设备市场变得更为强劲。SEMI中国区总裁居龙表示,2020年中国首次成为全球最大设备市场,增长率达到39%。中国电子专用设备工业协会常务副秘书长金存忠预计,2020年中国半导体设备市场规模将超过150亿美元。

 

徐来在介绍中国区业务时谈到:“ASM在中国的发展,远超于ASM其他地区,是增长最快的地方,也是受益于国内设备市场迅猛发展的结果。ASM在中国扎根20年,人员一直在增加。今年年底应该会达到150位员工的体量。享受国内经济发展、半导体设备市场迅猛发展的同时,ASM也愿意做与社会责任相关的事情。去年我们捐助了一个图书馆,一个广播站给一个希望小学。”

 

除了ALD,Epi也是ASM产品一个迅猛增长的品类。“Epi在过去一年是非常热的话题,ASM帮助国内客户提供了较好的选择。去年讲到外延生长,在厚外延上我们是最领先的,因为这个技术我们在国内打开了很大的市场。”徐来讲到。