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晶圆

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晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片,其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种,然后慢慢拉出,形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨,抛光,切片后,形成硅晶圆片,也就是晶圆。国内晶圆生产线以 8英寸和 12 英寸为主。晶圆的主要加工方式为片加工和批加工,即同时加工1 片或多片晶圆。随着半导体特征尺寸越来越小,加工及测量设备越来越先进,使得晶圆加工出现了新的数据特点。同时,特征尺寸的减小,使得晶圆加工时,空气中的颗粒数对晶圆加工后质量及可靠性的影响增大,而随着洁净的提高,颗粒数也出现了新的数据特点。

晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片,其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种,然后慢慢拉出,形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨,抛光,切片后,形成硅晶圆片,也就是晶圆。国内晶圆生产线以 8英寸和 12 英寸为主。晶圆的主要加工方式为片加工和批加工,即同时加工1 片或多片晶圆。随着半导体特征尺寸越来越小,加工及测量设备越来越先进,使得晶圆加工出现了新的数据特点。同时,特征尺寸的减小,使得晶圆加工时,空气中的颗粒数对晶圆加工后质量及可靠性的影响增大,而随着洁净的提高,颗粒数也出现了新的数据特点。收起

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  • 高速传输场景下,上银H系列晶圆机器人可降低停机损失吗?
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  • SK晶圆大厂下个月出售!
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  • 翘曲晶圆传输易损坏,哪种末端效应器的晶圆机器人适配性更好?
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  • 日本EDP×AIST提出金刚石/硅复合晶圆新路径
    日本AIST与EDP合作提出一种新方法,通过将小尺寸单晶金刚石晶圆贴合到大尺寸硅晶圆上,构建金刚石/硅复合晶圆,实现金刚石器件的晶圆级加工。研究发现,提高金刚石/硅键合温度至1200℃可以显著改善复合晶圆的平整性和微细光刻适应性,同时保持良好的界面强度和工艺兼容性,有望推动金刚石器件进入现有半导体工艺体系。
  • 上银晶圆搬运机器人的重复定位精度能否满足半导体高精度传输要求?
    在半导体制造中,“微米级误差”可能意味着整片晶圆的报废。晶圆搬运机器人作为连接各工艺设备的“桥梁”,其重复定位精度直接决定了传输环节的良率。许多客户在选型时都会问:“上银晶圆搬运机器人的精度,真的能满足我们对高精度传输的要求吗?”答案是肯定的——通过核心技术的持续迭代,上银晶圆搬运机器人的重复定位精度已达到±0.1mm,这一指标不仅符合SEMI国际标准,更在实际应用中经受住了半导体前道、后道工艺的
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    02/07 10:50
  • 根据晶圆尺寸与负载需求,如何选择合适的上银晶圆搬运机器人机型?
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