芯耀
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1 、引言
光学棱镜作为光通信、成像系统、激光技术等领域的核心光学元件，其棱边精度、棱角角度、表面平整度等结构参数直接决定光折射/反射效率、成像清晰度及光路稳定性。在棱镜切割、研磨、抛光等制备过程中，易出现棱边倒角偏差、棱角磨损、表面划痕、局部凹陷等形貌缺陷，严重影响光学性能。传统二维测量方法难以完整表征棱镜复杂三维结构的轮廓特征，无法满足高精度光学应用的质量管控需求。3D白光干涉仪凭借非接触测量特性、纳米级分辨率及全域三维形貌重建能力，可快速精准获取光学棱镜结构的完整光学3D轮廓，为棱镜制备工艺优化提供可靠数据支撑。本文重点探讨3D白光干涉仪在光学棱镜结构光学3D轮廓测量中的应用。
2、 3D白光干涉仪测量原理
3D白光干涉仪以宽光谱白光为光源，经分束器分为参考光与物光两路。参考光射向固定参考镜反射，物光经高数值孔径物镜聚焦后照射至光学棱镜表面及棱边结构，反射光沿原路径返回并与参考光汇交产生干涉条纹。因白光相干长度极短（仅数微米），仅在光程差接近零时形成清晰干涉条纹。通过压电陶瓷驱动装置带动参考镜进行精密扫描，高灵敏度探测器同步采集干涉条纹强度变化，形成干涉信号包络曲线，曲线峰值位置精准对应棱镜表面及结构各点的三维坐标。结合多视角扫描拼接与结构轮廓拟合技术，可完整重建光学棱镜全域光学3D轮廓，精准提取棱边宽度、棱角角度、表面平整度、缺陷尺寸等核心参数，其垂直分辨率可达亚纳米级，适配光学棱镜高精度结构测量需求。
3 、3D白光干涉仪在光学棱镜结构测量中的应用
3.1 棱镜结构光学3D轮廓精准重建与参数提取
针对光学棱镜核心结构（棱边宽度10 μm-500 μm、棱角角度精度要求≤0.01°）的光学3D轮廓测量需求，3D白光干涉仪可通过优化测量策略实现精准表征。测量时，根据棱镜尺寸与结构类型，选取适配物镜倍率与多视角扫描路径，对棱镜棱边、棱面等核心区域进行高精度扫描，通过三维点云拼接与坐标校准技术重建完整的光学3D轮廓。采用结构特征提取算法，自动识别棱边轮廓与棱面区域，精准计算棱边宽度、棱角夹角及相邻棱面的垂直度，同时量化表面平整度（PV值）。实验数据表明，其棱角角度测量误差≤0.005°，棱边宽度测量误差≤2 μm，表面平整度测量精度≤0.5 nm，可有效捕捉研磨压力、抛光时间变化导致的结构偏差，为工艺优化提供精准量化依据，同时支持批量棱镜的一致性评估。
3.2 棱镜形貌缺陷的高效识别
光学棱镜制备过程中产生的棱边倒角过大、棱角磨损、表面划痕、局部凹陷等缺陷，会导致光散射损耗增加、光路偏移。3D白光干涉仪在重建3D轮廓的同时，可实现此类缺陷的高效识别与量化。通过设定缺陷阈值（如棱边倒角偏差≥5 μm、表面划痕深度≥10 nm），系统可自动筛选不合格产品，并标记缺陷位置。结合缺陷形态分析可追溯问题根源：如棱边磨损多与研磨砂轮精度不足相关，表面划痕则与抛光环境洁净度有关。例如，当检测到批量棱镜出现棱边倒角超差时，可反馈调整研磨砂轮的进给参数，提升棱镜成型质量。
相较于传统机械接触式测量仪对棱镜表面的划伤风险，3D白光干涉仪的非接触测量模式可保障棱镜精密光学表面的完整性；相较于单一视角光学测量的结构表征局限，其多视角拼接技术可完整呈现棱镜复杂三维结构。同时，其具备高效扫描能力（单个棱镜全结构测量时间≤8 s），可满足光学元件产业化批量检测需求。通过为光学棱镜结构提供全面、精准的光学3D轮廓测量数据及缺陷检测结果，3D白光干涉仪可助力构建严格的质量管控体系，提升棱镜制备良率与光学性能稳定性，为高精度光学系统的发展提供关键技术支撑。
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（以上数据为新启航实测结果）
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