MEMS传感器的工作原理 常用的MEMS传感器有哪些

MEMS(微机电系统)传感器的工作原理是基于微机电技术，通过微小的机械结构将物理量转换为电信号。常见的MEMS传感器包括加速度计、陀螺仪、压力传感器等。

1.加速度计

加速度计是一种用于测量物体加速度的MEMS传感器。它通常由一对微小的质量块和弹簧组成，当物体运动时，会使其中一个质量块发生相对于另一个质量块的位移，从而改变电容或电阻值，进而产生电信号。

2.陀螺仪

陀螺仪是一种用于测量旋转角速度的MEMS传感器。它由一个或多个微小的旋转质量和弹性支撑体系组成，当发生旋转时，旋转质量将会相对于支撑体系发生微小的位移，从而产生电信号。

3.压力传感器

压力传感器是一种用于测量物体受到额外压力的MEMS传感器。它通常由弹性变形的薄膜和电极组成，当受到外力作用时，薄膜会产生微小的弯曲，从而改变电容或电阻值，进而产生电信号。