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微纳加工

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  • 飞秒激光光丝远程传感与微纳加工
    超快强激光因其超高峰值功率、超短脉宽等特点,在大气(或其它光学介质)中传输时,会形成一个丝状高光功率密度等离子通道,被形象地称为“光丝”,在多相态物质探测和分析、不规则材料表面微纳加工等领域拥有重要应用潜力。获得国内发明专利10余项,发表文章100余篇。
  • 湿法刻蚀
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