国内7大半导体设备上市公司

美国是全球最大的半导体设备制造国，应用材料（AMAT）、泛林（LAM）和科磊（KLA）三家企业2024财年营收均位居全球前五。这三家美系设备厂商来自中国大陆市场的营收占比均接近40%，显示出我国在该领域存在较大的国产替代空间。近年来，我国半导体设备国产化进程持续推进，但在光刻、检测与量测、涂胶显影、离子注入等关键环节，国产化率仍然偏低。

芯科技圈梳理国内7家已上市的半导体设备企业如下：

1.北方华创（002371）：并购芯源微，完善泛半导体设备产品线

北方华创科技集团股份有限公司成立于2001年，2010年在深交所上市，是国内泛半导体设备龙头企业，业务覆盖半导体装备、真空及锂电装备、电子元器件三大领域。受益于国产替代加速，公司业绩持续高增长：2024年营收298.38亿元，同比增长35.14%，归母净利润56.21亿元，增长44.17%；2025年一季度营收82.06亿元，同比增长37.90%，净利润15.81亿元，增长38.80%。

2024年3月，公司以16.87亿元收购芯源微9.49%的股份。芯源微在前道涂胶显影设备等领域具备量产能力，产品覆盖28nm以上制程。此次并购有助于双方形成产品互补，增强在光刻联机、先进封装等环节的设备供应能力，进一步提升企业综合竞争力。

2024年北方华创（NAURA）蝉联全球前十，且排名从第八上升至第六。

2.中微公司（688012）：刻蚀龙头，薄膜新星

中微半导体设备（上海）股份有限公司成立于2004年，2019年在科创板上市，专注于高端半导体设备研发与制造，产品涵盖刻蚀、MOCVD、LPCVD及ALD等设备。其等离子体刻蚀设备已应用于5纳米等先进集成电路和先进封装产线，MOCVD设备规模量产，成为全球领先的氮化镓基LED设备供应商。

2024年公司营收90.65亿元，同比增长44.73%，扣非归母净利润13.88亿元，增长16.51%。归母净利润同比下降主因2023年处置股权收益较高。分业务看，刻蚀设备销售72.77亿元，增长54.72%；MOCVD设备销售3.79亿元，下降18.03%；LPCVD设备首年实现销售1.56亿元。2024年一季度营收21.73亿元，同比增长35.40%，净利润3.13亿元，增长25.67%，主营业务持续增长。

3.华海清科（688120）：并购拓产品线，巩固CMP龙头地位

华海清科股份有限公司成立于2013年，2022年于科创板上市，是国内CMP设备龙头企业。公司构建“装备+服务”平台化布局，产品涵盖CMP、减薄、湿法、离子注入、晶圆再生及耗材维保等，广泛应用于集成电路、先进封装、第三代半导体等领域。

2024年公司实现营收34.14亿元，同比增长36.12%；归母净利润10.20亿元，同比增长40.99%。业绩增长主要源于CMP设备市占率与规模持续提升，减薄、清洗及晶圆再生等新业务初显成效。同年12月，公司宣布以不超过10.045亿元收购芯嵛半导体剩余82%股权，实现全资控股，旨在加速离子注入设备研发迭代，进一步扩充产品线，增强核心竞争力。

4.拓荆科技（688072）：薄膜沉积与混合键合龙头，2024年营收高增

拓荆科技股份有限公司成立于2010年，2022年科创板上市，专注于高端半导体薄膜沉积设备（PECVD、ALD、SACVD、HDPCVD等）的研发与销售，并前瞻布局混合键合设备。2024年公司实现营收41.03亿元，同比增长51.70%；归母净利润6.88亿元，同比增长3.86%。薄膜沉积设备仍是核心，占比94.13%；先进键合及量测设备收入达9566.85万元，增长48.78%，多款产品获重复订单并扩大产业化应用。公司凭借技术优势持续获客，产品量产规模不断扩大。2025年3月推出股权激励计划，覆盖70%员工，彰显长期发展信心，有助于稳定核心团队。

5.长川科技（300604）：测试设备布局全面，利润高速增长

杭州长川科技股份有限公司成立于2008年，2017年于深交所创业板上市，专注于集成电路测试设备研发制造，产品包括测试机、分选机、探针台及AOI设备等，广泛应用于汽车电子、5G通信及云计算等领域芯片检测。公司已构建以测试设备为核心的全方位产品平台，2024年上半年测试机收入占比达60.9%。

公司预计2024年归母净利润为4至5亿元，同比增长785.75%–1007.18%；扣非净利润3.59至4.59亿元，实现扭亏为盈，同比大幅增长。业绩高增主要得益于半导体市场复苏、产品线丰富及大客户战略深化，测试产品覆盖度和市场占有率持续提升，规模效应逐步显现。公司未来将继续加大研发投入，聚焦高端装备领域，推进产品推广和产业基地建设。

6.盛美上海（688082）：半导体清洗设备龙头，推动平台化布局

盛美半导体设备（上海）股份有限公司成立于2002年，2021年于科创板上市，是国内半导体清洗设备领域的领先企业，并已拓展形成平台化工艺设备布局。产品涵盖清洗、电镀、立式炉管、Track涂胶显影、PECVD、无应力抛光及先进封装设备等。

2024年公司实现营业收入56.18亿元，同比增长44.48%；归母净利润11.53亿元，同比增长26.65%。其中清洗设备占比72.22%，其他半导体设备占比20.24%。业绩增长主要源于清洗设备竞争力持续增强以及新品类拓展，平台化战略稳步推进。常压氧化炉与LPCVD等设备已进入多家客户订单阶段，有望成为公司未来新增长点。

7.芯源微（688037）：涂胶显影设备领先，费用增长致2024年利润承压

沈阳芯源微电子设备股份有限公司成立于2002年，2019年于科创板上市。公司专注于光刻工序涂胶显影设备（如涂胶/显影机、喷胶机）和单片式湿法设备（如清洗机、去胶机、湿法刻蚀机），产品广泛应用于集成电路前道、后道先进封装，以及化合物、MEMS、LED芯片制造等领域。

2024年，公司实现营业收入17.54亿元。其中，涂胶显影设备营收10.50亿元，占比59.86%；单片式湿法设备营收6.45亿元，占比36.76%；其他业务收入合计占比约3.37%。