做 CMP 的人,没有一个是容易的。
别人看到的是「抛光」,你经历的是——浆料飞溅、pad 老化、压力飘、曲线抖、scratch 掉良率、老板催报表、线上小姐姐喊你快点、WAT 图像阴魂不散。
别人以为 CMP 只是把 wafer “磨平”这么简单,只有我们自己知道:CMP 抛平的不是 wafer,是脾气、情绪和人生的棱角。
一、CMP 的世界,只有做过的人才懂
CMP 的难,不是某个参数玄学,
是它同时受太多因素的影响:
pad 的硬度会变
conditioner 会钝
slurry 会降解
ring 会偏
platen 会磨
head 会松
ICP、RR、NU、scratch… 每一个都能要你命
CMP 就是“全世界都在想办法让你难搞”,你得用理性把它拉回正轨。
也正因为此——CMP PE 是前段工艺线里,最接近黑魔法的人。
二、PE 的本质不是调机,是“让生产线相信你”
很多新人以为:PE 就是调 recipe、跑试片、写报告。
其实只说对了一半。
真正的 CMP PE,是这样的:
你调的不是机台,是整个流程的稳定性;
你看的不是曲线,是 wafer 的命运;
你交付的不是报表,是别人敢放心量产的底气。
在线上的小姐姐眼里,PE 是“出了问题要叫的人”;
在老板眼里,PE 是“稳定生产的保险丝”;
在 yield/PIE 眼里,PE 是“CMP 这段能不能放心的关键角色”。
说难听点:你就是 CMP 套件里最贵、也最不能坏掉的那颗零件。
三、每天忙得要死,其实是在对未来投资
做 CMP PE,最常见的感受就是:
今天查 scratch 查到怀疑人生
明天 RR 飘到你以为机台在跟你开玩笑
后天 pad condition 又不稳定
还要被问:“为什么你这批又偏了?”
你嘴上说“我也想知道为什么”,
但第二秒,你已经又冲到机台前、翻 log、问 OP、找 yield。
你心里明白:这些看似无穷无尽的 troubleshooting,其实是在帮你搭建属于自己的“经验库”。
有一天你会突然发现:
看一眼 wafer map,你就知道可能是哪个 head 的膜压不均;
看一条 NU 的趋势,你能猜到 pad 该换了;
看到 RR 抖,你能判断是 slurry 还是 pressure tank 的锅;
那一刻你会明白:CMP 是靠时间换经验的工作,每一次狼狈的救火,都是你未来升职加薪的资本。
四、PE 和机台是恋爱关系:你越懂它,它越听你话
CMP 机台就是这样一个“又傲娇又脆弱”的家伙:
你忽视它一天,它用 scratch 教训你;
你忘了 pad 寿命管理,它用 NU 飘给你看;
你 slurry 管不好,它用 RR 下滑回击你;
你漏看 log,它在 WAT 上给你放烟花。
但只要你愿意:
多看几次趋势
多跑几次试片
多跟EE、OP沟通
多问机台今天有没有“小情绪”
你会发现——机台其实很听懂你的人,说白了,它只是不喜欢被忽略。
五、PE 不是技术工种,是一种“坚韧的性格”
我见过很多 CMP PE,他们的共同特点不是聪明,而是——扛得住、熬得住、站得住。
良率掉的时候不慌
客户抱怨的时候不怂
线上爆的时候不跑
夜里被叫醒也能马上进入作战状态
说 CMP PE 辛苦的,一点都不夸张。
但我更愿意说:CMP PE 是 fab 里最像“守门人”的角色。
你不站好这一班岗,后面几十道工序都可能跟着“跳崖”。
这不是情怀,这是事实。
六、给所有刚入行 CMP PE 的建议
最后,给新人几句肺腑之言:
1. 不要怕问
CMP 的坑太多,你不问,就会掉进去。
2. 不要怕跑机台
你对现场熟悉得越早,成长越快。
3. 不要怕数据
RR/NU/ICP/摩擦力/扭矩/温度……你盯得多了,它们真的会“给你语言”。
4. 不要怕被骂
被骂说明你负责的那段有人重视。不被骂……那才危险。
5. 不要怕累
CMP 本来就是靠经验吃饭,你现在累,是在给未来的自己打地基。
七、写在结尾:CMP 人有一种特别的底色
CMP PE 的心声,可以这样概括:
“我知道我的工作没人完全懂,但我清楚地知道它的重要。”
“我解决的问题不一定有人感激,但稳定背后都有我在撑着。”
“我不只是抛光 wafer,我是在替整个产品线扫掉风险。”
如果你正在这条路上累得够呛、被数据折磨得想摔键盘、被机台搞到想辞职——
记住:
CMP 让你变强,不是一天、两天,而是在每一次你不想坚持、却还是坚持的时候。
如果有一天你终于成长成那个别人都愿意请教的 “CMP 大佬”,
你会回头发现:
你走过的每一批 wafer 都在帮你铺路。
CMP 不容易。
PE 不容易。
但坚持下来的人,都会闪闪发光。
——写给所有在抛光间里挥汗的你。
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