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硅片和SOI哪个研究方向更好?

2024/05/06
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知识星球(星球名:芯片制造与封测社区,星球号:63559049)里的学员问:我研一将要结束,即将进入课题组。我们课题组方向有硅片和soi两种方向,这两种方向该如何选择呢?

硅片与SOI

硅片是半导体制造的基础,绝大多数的芯片都是在硅片上制造的。SOI(silicon on insulator )利用绝缘层将单晶硅薄膜与单晶硅片隔离开来。与单晶硅片相比,SOI可以减少寄生电容漏电流等,是一项比较前沿的技术。

制作方法的不同

硅片的制作方法:先用CZ法或FZ法制作出单晶硅锭,经过切割成片,抛光等工序,得到单晶硅片SOI晶圆则是需要对已有的单晶硅片再加工,一般的方法有SIMOX,BESOI,晶体生长法等。涉及到的工艺有离子注入,退火,晶圆键合,CVD,cmp等。总的来说,硅片制造的工艺偏向于材料端,但是SOI所需要的工艺更贴近于半导体制造端,更先进更前沿。

SOI技术的前景

SOI技术在微处理器,高性能RF芯片,硅光电子芯片中应用广泛。因此针对于个人的职业规划,我认为SOI方向具有极大的潜力。

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