知识星球(星球名:芯片制造与封测技术社区,点击加入)里的学员问:在12吋/8吋 fab中,是严禁使用乙醇酒精做主清洗剂的,为什么?
IPA在晶圆厂中的应用?IPA是异丙醇,主要用于晶圆清洗,刻蚀,设备装机,PM等。几乎出现在晶圆厂各个区域中。
异丙醇与酒精的性质对比?
| 项目 | IPA(异丙醇) | 乙醇(Ethanol) |
|---|---|---|
| 化学式 | C₃H₈O | C₂H₆O |
| 极性 | 中等极性 | 极性较强 |
| 沸点 | 82.6°C | 78.4°C |
| 溶解性 | 与水、醇、酮类完全互溶 | 同样与水、醇类互溶 |
| 气味 | 刺鼻 | 相对温和 |
| 挥发速度 | 稍慢于乙醇 | 稍快于IPA |
| 吸水性 | 强 | 更强 |
| 干燥性(残留水能力) | 更容易置换水分 | 残留水更多、干燥性差一些 |
为什么用IPA不用酒精?
1,SEMI G5 级 IPA 的纯度水平通常超过 99.9999%(六个九的纯度),而乙醇几乎无法从共沸物中提取完全无水状态,常为“分析纯/试剂级”,天生难达晶圆级的超净标准。
2,IPA挥发速度适中,能在表面均匀蒸发,不易形成“干斑”或水痕;与 DI水形成 azeotrope(共沸物),适合 Marangoni 干燥。
3,IPA的极性比乙醇略低,与有机溶剂(NMP,ACE等)、光刻胶残留等相容性更好。
那酒精真的不能用吗?并非绝对不能用,但通常在以下情况中才会用到:低端或实验用玻璃器具清洗;
实验室级封装前初步擦拭;
PCB行业;
需要临时清洗但不要求电子级纯度的情况。
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