芯耀
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2月27日，国内集成电路检测与量测设备龙头企业中科飞测发布2025年度业绩快报，交出一份亮眼的成绩单。全年营收与利润双双实现突破性增长，成功实现扭亏为盈，第四季度业绩更是创下单季度历史新高。
公告清晰显示，2025年中科飞测实现营业总收入20.53亿元，同比增幅达48.75%，展现出强劲的增长韧性；归属于母公司所有者的净利润为5771.24万元，上年同期为亏损1152.51万元，在归母净利润层面成功实现扭亏为盈的关键跨越。但需要注意的是，得益于政府补助等非经常性损益贡献，公司2025年归属于母公司所有者的扣除非经常性损益的净利润为-1.22亿元，主营业务仍处于投入期，盈利能力的实质性提升有待核心产品进一步放量。
单季度表现尤为突出，成为全年业绩增长的核心支撑。2025年第四季度，公司实现营收8.51亿元，同比增长49.85%，营收规模接近全年的四成；归母净利润7241万元，同比大幅增长79.41%，营收与利润均创下单季度历史新高，单季度利润已超过全年净利润总和，凸显出公司四季度订单交付与盈利效率的显著提升，也印证了下游市场需求的旺盛。
对于业绩的大幅增长，中科飞测在公告中明确表示，核心驱动力来自三大方面：一是核心技术的持续突破，破解了多项设备关键模块自主化开发难题，形成了深紫外成像扫描技术、高精度多模式干涉量测技术等核心技术体系，为产品竞争力奠定基础；二是产业化推进的稳步落地，产品迭代升级速度加快，新系列产品与现有产品升级版本的收入贡献持续提升；三是竞争优势的不断强化，在核心技术、客户资源、产品覆盖广度与深度上持续发力，推动订单规模与营收规模同步扩张。公司在研发端的投入持续加码，为技术突破提供了坚实保障。截至2025年6月末，公司研发人员数量达577人，较去年同期增加112人；2025年上半年研发费用累计投入2.85亿元，同比增长30%。高强度研发投入支撑了核心技术体系的构建，目前公司已拥有专利642项，其中发明专利214项，并承担了国家级、省级、市级重点专项研发任务，具备可持续的研发创新能力。
作为国内半导体量检测设备领域的领军企业，中科飞测专注于检测和量测两大类集成电路专用设备的研发、生产和销售，深耕半导体质量控制核心环节，提供涵盖设备产品、智能软件产品和相关服务的全流程良率管理解决方案，是国产替代的绝对主力。
目前，公司已构建起九大系列设备+三大系列软件的完善产品矩阵。其中，七大系列设备已实现批量量产，覆盖无图形晶圆缺陷检测、三维形貌量测、薄膜膜厚量测等多个核心环节；另外两大系列设备——明场纳米图形晶圆缺陷检测设备和暗场纳米图形晶圆缺陷检测设备，作为技术难度最高的高端产品，已完成样机研发并实现小批量出货，目前正处于国内头部客户的工艺验证阶段，有望率先打破国外厂商在该领域的垄断地位。截至2025年底，公司产品已覆盖接近70%的半导体质量控制设备市场容量，累计交付量突破千台。
2025年下半年，公司在高端产品布局上持续突破，多款关键设备实现出货与发布，填补国产高端量测设备空白，进一步完善产品矩阵。2025年11月，公司首台晶圆平坦度测量设备GINKGO IFM-P300成功出货至HBM客户端，该设备采用先进的干涉仪光学系统，具备较大的翘曲测量范围，能够精准匹配HBM芯片制造过程中的核心测量需求，标志着公司在存储芯片高端量测领域实现重要突破；2025年12月底，公司发布首台电子束关键尺寸量测设备（CD-SEM），该设备主要面向1Xnm先进逻辑及存储芯片制造中的关键制程工艺，适用于光刻、刻蚀等核心环节的关键尺寸监控，能够满足亚纳米级的测量精度要求，而随着国内半导体制造工艺向7纳米、5纳米及以下节点演进，传统光学量测手段已难以满足需求，CD-SEM成为实现纳米级分辨率测量的核心设备，此次产品发布将有效打破国外企业在高端电子束量测设备领域的垄断。据悉，该设备已实现自动化数据采集与处理，集成AI算法提升测量精度和效率，减少人工干预，适配晶圆厂高效生产需求。
中科飞测已成功切入国内主流晶圆厂供应链，客户结构优质，涵盖中芯国际、长江存储、长鑫存储、华虹集团、士兰集科、长电科技、华天科技、通富微电等国内主流前道晶圆制造和后道先进封装客户，率先进入了对设备要求极为严苛的头部客户供应链，建立了极高的客户验证壁垒和信任壁垒。这些核心客户正处于“高强度、战略性”的资本开支周期，持续的产能扩张的技术升级，为公司带来了稳定的订单需求。公司近日在投资者互动平台上也明确表示，新系列产品及现有系列升级迭代产品收入贡献持续增长，推动公司订单规模持续增长，当前在手订单充沛，为后续业绩增长提供了坚实的保障。
目前，全球半导体量检测设备市场正稳步扩容，而中国大陆市场增速领跑全球，为国内企业提供了广阔的发展空间。根据QYResearch预测，2030年全球半导体量检测设备市场规模将达到277.6亿美元，2024年至2030年年度复合增长率达8.1%；其中，中国大陆市场发展更为迅猛，根据VLSI数据统计，2020年至2024年中国大陆半导体检测与量测设备市场规模年度复合增长率达27.73%，远超全球平均水平。细分来看，CD-SEM作为核心细分领域，市场需求持续旺盛，2020至2025年间，中国CD-SEM市场规模由约12亿元增长至近35亿元，年均复合增长率达24.1%，预计到2026年将突破45亿元。
国家对半导体产业的持续扶持为国产设备厂商提供了良好的发展环境。《计量发展规划(2021—2035年)》明确提出，加强高端仪器设备核心器件、核心算法和核心溯源技术研究，推动关键计量测试设备国产化，加快扫描电子显微镜等高端通用仪器设备研制。同时，“十四五”规划明确将高端检测装备列为集成电路产业链补短板重点方向，中央财政通过国家科技计划（如“02专项”等）持续加大资金支持，重点支持CD-SEM等核心部件的技术研发；地方政府也通过税收减免、土地优惠、设备采购贴息、首台套保险补偿等多种方式，推动本地企业研发与产业化，为国产设备的技术突破与市场渗透提供了有力支撑。
目前全球半导体检测和量测设备市场仍由科磊（KLA，市占率超50%）、应用材料（AMAT）、日立高新等美日企业高度垄断，其中CD-SEM市场国际巨头合计占据超85%的市场份额，国内厂商仍处于追赶阶段。华源证券在近期研报中表示，半导体检测与量测设备自主可控的空间广阔，当前国内市场中国外企业仍然占据主导地位，而国内厂商有望受益于国内半导体产业链的快速发展，持续提升检测与量测设备的国产化率。值得注意的是，国内设备厂商在核心部件如电子光学系统、高灵敏度探测器及精密运动平台等方面仍高度依赖进口，成为制约国产化率提升的关键瓶颈，同时下游头部晶圆厂对国产设备的验证周期普遍长达12–18个月，量产线渗透率目前不足5%，但随着技术成熟与信任建立，预计2026年有望提升至15%以上。
中科飞测作为国内量检测设备领域的龙头企业，凭借技术积累、客户资源与产业化能力，正加速突破国外企业的垄断，在国产替代进程中占据领先地位。
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