华林科纳 - CSE智能湿法工作站

华林科纳智能湿法工作站是在原实验室通风橱的基础上进行了升级，专为半导体湿法、酸蚀、清洗等高腐蚀、高风险工艺场景打造。

以模块化结构设计、全维度安全联锁、精准参数控制、智能语音化运维管理为核心，完全匹配SEMI 标准、洁净实验室合规要求与用户实际生产场景，用可量化的硬指标，定义半导体湿制程通风设备的新标准。

01、模块化结构设计

（一）分区结构布局（标准化机型）

顶部FFU（可选配）：垂直层流送风，面风速0.35-0.55m/s，构建正压气幕，杜绝外界污染侵入

中间操作区：视窗联动变风量设计，操作区气流均匀性≥90%，无紊流、无死角

下部智能试剂柜+废液收集：耐腐蚀密封柜体，内部温湿度监测，充氮防潮、防氧化

（二）上送下排抽风方式（可选配）

采用顶部FFU 送风+下部负压排风的对向气流组织：

面风速控制在0.3-0.5m/s，最大偏差≤±2%，有效阻隔有害气体外溢；

气流路径全程覆盖操作区，有害气体捕捉效率＞99.999%，杜绝交叉污染；

试剂存储柜内实时填充氮气，实现惰性气体保护，适配易氧化、易反应化学品操作；

（三）水龙头+水池（选配）

配置PP 防腐水龙头+防腐水池，耐HF、HCl、H₂SO₄ 等酸碱腐蚀，适配湿法工艺清洗需求；

水池由防腐板材折弯拼焊成型，带防溢水+防倒流设计，避免废液倒灌污染气路；

（四）水气枪（标配）

标配防腐型水枪和气枪，支持氮气吹扫、去离子水冲洗；

接口采用PFA/PP 防腐材质，耐压0.4~0.6MPa，适配半导体湿法清洗、台面快速清洁；

快插式接口设计，安装便捷、无泄漏，软管隐藏式布线，保持操作区整洁无干扰；

（五）安全插座（标配）

工作站配备10A 防爆安全插座，带防酸雾、防溅水、防过载保护

02、核心安全功能

（一）多重安全连锁机制

红外感应开门联锁：门体开启时，自动触发变风量控制，风机1s内响应，提升排风量至安全阈值；

视窗高度联动控制：视窗位置实时联动面风速，高度超限自动加强排风，超时未关触发声光报警；

火焰/烟雾/温感自动灭火功能（选配）：内置温感、烟感、火焰传感器，监测到火情时自动切断风机、关闭防火阀，触发灭火装置，响应时间＜3s；

紧急停机与断电保护：配置急停按钮，遇特殊情况可紧急停机并断电保护，风阀关闭防止有毒气体串污染；

（二）泄漏与防腐防护

全柜体采用PP /SUS316L 防腐材质，耐HF、HCl、H₂O₂ 等强腐蚀介质，耐腐蚀等级≥10 级;

台面可选实面或洞洞导流设计，配合底部防泄漏托盘，双重阻隔药液腐蚀；

内置废液泄漏传感器，检测到漏液时立即声光报警，三色灯高亮提示，避免药液扩散造成安全隐患；

（三）有害气体与环境检测

在线气体监测模块（可选HF/HCl/丙酮/可燃气体传感器），检测精度±0 .1%，超标时自动触发最大风量排风+平台报警；

药液存储柜内置温湿度传感器，精度±0.1℃/±1%RH，实时监测柜内环境，数据采样频率1 次/秒

03、智能交互与控制

（一）智能语音控制功能

专为半导体洁净实验室操作场景打造的工业级语音交互系统，实现全程无接触操作，杜绝交叉污染与误触风险：

语音指令响应：支持普通话/工业术语识别，响应时间＜0.5s，可直接语音控制设备启停、风量调节、视窗升降、照明开关、氮气填充等核心功能；

指令识别精度：针对高噪音、高湿环境优化，在≤67dB (A)的设备运行噪音下，识别准确率≥99.2%；

语音安全联动：当检测到操作人员靠近/发出指令时，自动联动开启安全排风模式；设备报警时，同步触发语音播报+声光提示，确保操作人员第一时间感知；

自定义指令库：支持导入工厂定制化指令，适配不同工艺场景的操作习惯，无需额外学习成本。

（二）智能预警与运维优化

高效过滤器寿命采用压差+时间双重预测模型，提前72h 预警更换，避免过滤失效导致的安全风险；

支持485 /以太网/MQTT 协议接入系统，多机组集中联控；

运行数据自动存储，支持历史曲线追溯、Excel 格式导出，报警事件、维护记录全留痕，满足厂内审计追溯要求；

变频风机自适应调速，相比传统定频机型节能≥30%；

04、标准化关键技术参数

华林科纳智能湿法工作站，以可量化的硬参数、全链路的安全设计、模块化的结构适配、无接触的语音交互管理，为半导体湿法、酸蚀、清洗等高风险工艺环节，提供稳定、合规、高效的通风保障。从实验室研发到量产制程，用标准化的产品性能，为高端制程降本增效、合规运行保驾护航。

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