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从3英寸到量产:Element Six与Orbray释放金刚石晶圆产业化新信号?

3小时前
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6月16日,英国Element Six(E6)与日本Orbray联合宣布,双方已成功建立3英寸晶圆单晶金刚石(Wafer-Scale Single Crystal Diamond,WSC™)的可重复制造工艺,并正推进4英寸产品开发。同时,面向外延生长和热管理应用的2英寸晶圆产品已接近定型,部分产品开始进入量产准备阶段。

消息发布后,行业讨论的焦点集中在“3英寸单晶金刚石”上。

但事实上,相比尺寸本身,更值得关注的是新闻稿中反复出现的三个关键词:

Wafer-Scale(晶圆级)、Reproducible Process(可重复工艺)和 Volume Production(规模化生产)。

这意味着,金刚石产业正在从“实验室材料”向“工业化晶圆”迈进。

为什么行业如此关注晶圆级单晶金刚石?

过去二十多年里,金刚石一直被视为“终极半导体材料”。

从理论性能来看,其热导率可达到2000W/m·K以上,远高于硅、碳化硅氮化镓;同时还具备超宽禁带、高击穿电场、高载流子迁移率等优势。Orbray甚至将其称为比SiCGaN更具潜力的下一代半导体材料。

因此,无论是功率电子、射频通信、量子器件还是先进散热领域,金刚石都被寄予厚望。

然而产业迟迟没有爆发。

原因很简单:

能够做出金刚石,不等于能够制造金刚石晶圆。

长期以来,单晶金刚石主要依赖小尺寸籽晶生长。

虽然科研机构能够获得高品质单晶材料,但尺寸受限、成本高昂、良率波动大,难以满足半导体产业对于标准化晶圆的要求。

而此次E6与Orbray所强调的“晶圆级单晶金刚石”,本质上是在推动金刚石从材料时代进入晶圆时代。

对于半导体产业来说,真正有价值的从来不是一块大金刚石,而是一片能够进入晶圆厂生产线的标准化晶圆。

Orbray的大尺寸路线:Step-Flow生长技术

实际上,Orbray(原Adamant Namiki)早在2021年便宣布实现2英寸单晶金刚石衬底制备。其核心技术路线并非传统同质外延,而是基于蓝宝石衬底的异质外延生长技术。

其中最具代表性的就是Step-Flow(阶梯流动)生长技术。

简单来说,Orbray并非直接在平坦蓝宝石表面生长金刚石,而是在具有微小倾角的蓝宝石衬底上构建规则“台阶”。

这些台阶成为金刚石晶体横向扩展的生长起点。

其优势在于:

缓解晶体生长过程中的应力积累;减少裂纹和翘曲;提升晶圆平整度;提高大尺寸扩展能力;降低生产成本。

Orbray公开资料显示,Step-Flow技术通过将应力沿横向释放,避免了早期微针(Microneedle)方案的复杂结构设计,大幅缩短生产时间,更适合未来规模化制造。

从产业角度看,这也是此次新闻中特别强调“可重复工艺”的原因。

因为决定产业化的关键,不是能不能长出一块3英寸金刚石,而是能否持续稳定地长出无数块3英寸金刚石。

Element Six的价值:把技术变成产能

作为戴比尔斯集团旗下先进材料企业,E6是全球最早开展CVD金刚石产业化的企业之一,在高纯单晶金刚石、热管理金刚石以及量子级金刚石领域均拥有深厚积累。

近年来,E6的战略布局已经越来越清晰。

第一条主线:先进热管理

随着AI服务器、高性能计算(HPC)以及GaN射频器件快速发展,散热成为制约系统性能的重要瓶颈。

E6持续推动CVD金刚石散热片商业化。其DIAFILM系列产品已应用于高功率射频器件和先进封装领域,可显著降低热阻并提升器件寿命。

2026年,E6还在SEMI-THERM大会上重点展示金刚石热管理解决方案,直接瞄准AI算力和高性能计算市场。

第二条主线:量子技术

近年来,E6持续投入NV色心金刚石开发。通过在高纯单晶金刚石中引入氮空位缺陷,可实现高灵敏度量子磁场传感和量子信息处理。

根据英国《金融时报》报道,E6已将量子金刚石视为未来的重要增长方向,并推动相关产品商业化。

第三条主线:半导体材料平台

此次与Orbray合作的核心目标,正是打造面向未来功率电子、射频电子、6G通信和量子芯片的晶圆级单晶金刚石平台。

从热管理到量子技术,再到半导体晶圆,E6正在逐步构建完整的“技术金刚石”生态。

为什么现在是金刚石产业化的关键节点?

如果把时间线拉长,会发现近两年金刚石产业明显进入加速期。

2024年,E6与Orbray建立战略合作。

2025年,双方实现50毫米级晶圆突破。

2026年,3英寸晶圆可重复制造工艺建立。

与此同时,全球范围内围绕金刚石散热、金刚石功率器件和金刚石量子器件的研究不断升温。

例如斯坦福大学团队开发的“Diamond Blanket”技术,通过直接在GaN器件表面构建金刚石层,使器件温度下降约70℃。

而在6G射频和高功率电子领域,越来越多研究开始探索GaN/Diamond、β-Ga₂O₃/Diamond等异质集成结构。

这些趋势共同指向一个方向:

未来十年,金刚石不仅是散热材料,更可能成为新的半导体平台。

从材料突破到产业竞争

对于整个产业而言,此次E6与Orbray公布的成果,最大的意义或许并不在于3英寸本身。

真正重要的是:

全球开始出现一条相对清晰的产业化路线图——2英寸产品导入市场;3英寸建立可重复制造能力;4英寸进入开发阶段;未来进一步向半导体晶圆标准化迈进。这意味着单晶金刚石的发展逻辑,正在逐步接近当年碳化硅产业的发展路径。

对于中国企业而言,这既是压力,也是机遇。

我国拥有全球最大的人造金刚石产业基础,但在电子级单晶衬底、大尺寸外延生长以及晶圆级制造能力方面,仍处于从“能够制备”向“能够量产”过渡的关键阶段。

而E6与Orbray此次释放出的信号表明:

金刚石半导体产业竞争的焦点,已经开始从实验室走向工厂,从材料研究走向制造体系。

未来几年,谁能率先建立稳定、低成本、可规模复制的晶圆供应能力,谁就有可能在下一代半导体材料竞争中占据主动。

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