应用背景
半导体封测作为芯片制造后段核心环节,晶圆、基板、芯片物料流转密集,载具料盒、托盘循环流转频繁,生产工艺严苛,对物料追溯、制程防错、环境耐受能力有着极高要求。传统人工记录、二维码标识模式,已经难以匹配半导体工厂智能化升级需求,工业 RFID 技术正在成为封装机台数字化改造的关键抓手。
应用痛点
物料追溯难: 晶圆、基板、芯片等物料种类繁多,批次管理复杂,人工记录易出错。
在制品管理乱: 载具(如料盒、托盘)流转状态不透明,生产进度难以实时掌控。
工艺管控严: 需要严格绑定工艺配方,防止用错料、跳站、漏站。
数据孤岛: MES/EAP等系统数据与物理实体脱节,无法形成有效闭环。
环境要求高: 部分环节需耐高温、抗化学腐蚀,传统标识方法无法胜任。
应用方案
将工业 RFID 读写设备部署于半导体封装机台,对料盒、托盘载具进行非接触式自动识别,把载具编号记录于 RFID 标签内,随载具流转全程跟随,打通实物与上层系统的数据链路。
数据自动采集,规避人为失误:机台到位后自动读取标签内的载具编号,记录晶圆物料信息,无需人工抄写录入,大幅提升晶圆批次管理准确性,从源头减少人为错误。
非接触识别保护晶圆品质:无需接触晶圆本体,避免接触式识别带来的粉尘污染风险,保障半导体器件洁净生产要求。
工艺防错,严控生产流程:标签绑定对应工艺配方,机台读取标签信息校验工序,拦截错料、跳站、漏站等异常,规避工艺事故。
适配复杂工业环境:选用耐温、抗化学腐蚀工业标签,适配封测车间特殊工况,解决传统标识易损坏的短板。
打通 MES/EAP 系统闭环:RFID 采集的现场实物数据上传至上层系统,让物理物料和业务数据实时同步,消除数据孤岛。
应用设备
CK-S650-PA60E是一款基于射频识别技术的低频RFID标签读卡器,读卡器工作频率134.2kHz。该读卡器支持标准工业半导体HSMS、Modbus TCP协议,同时还支持1和N协议,方便用户应用到半导体加工控制器或PLC等系统中。设备外置了三个模式开关选择器,方便用户直接设置工作模式、通信速率以及设备地址。读卡器内部集成了射频部分通信协议,用户只需通过RS232/RS485通信接口发送接收数据便可完成标签的读取操作,无需理解复杂的射频通信协议。
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