芯耀
与非AI
1133
2025年6月27日，青岛思锐智能半导体先进装备研发制造中心在青岛自贸片区正式落成投产，该项目由青岛思锐智能科技股份有限公司（以下简称“思锐智能”）与青岛城投集团联合打造，是中国半导体产业链自主化进程的重要里程碑。
项目核心信息
规模与投资
占地面积：约95亩，总建筑面积8.6万-8.9万平方米
投资金额：超12亿元人民币，连续两年入选山东省及青岛市重点项目
产能目标：年产量达百台半导体核心设备，聚焦原子层沉积（ALD）和离子注入机（IMP）两大前道设备
最新最全半导体设备零部件深度研究报告整理（点赞收藏）
战略意义
填补空白：结束青岛无半导体核心装备研发制造能力的历史，完善当地集成电路产业链.
技术自主：思锐智能是国内唯一同时突破ALD与IMP关键技术并实现量产的半导体设备企业。
技术突破与产业化能力
核心技术布局
ALD设备：2018年收购芬兰倍耐克（BENEQ）100%股权，整合全球领先技术并实现本土化量产。
IMP设备：自主研发高能离子注入机，2023年交付国内头部客户，打破国外垄断。
全球专利：思锐智能及子公司拥有480余项专利，覆盖40个国家/地区，服务超500家全球客户。
产业化能力：中心定位为“技术-制造-生态”枢纽，推动ALD+IMP双主线技术从研发到量产的完整能力。
加速突破关键技术瓶颈，深化在集成电路、第三代半导体（如碳化硅、氮化镓）等领域的应用。
制造中心总占地约 95 亩，总建筑面积达8.6 万平方米，计划投资超 12 亿元，聚焦原子层沉积镀膜（ALD）和离子注入机（IMP）两大核心半导体前道设备的研发与量产。它的投产填补了青岛在半导体核心装备领域的空白，标志着青岛在半导体产业自主创新和高端装备制造领域迈出重要一步。
青岛思锐智能科技股份有限公司董事长聂翔参与了落成投产活动。聂董事长表示，该中心不仅是一座年产百台设备的生产基地，更是构建 “技术 - 制造 - 生态” 闭环的关键节点。公司将依托该中心加速突破 ALD、IMP 等关键技术瓶颈，深化在集成电路、功率化合物等领域的布局。
中国半导体产业领军人物张汝京，欧洲科学院院士、北京超弦存储器研究院执行院长赵超，青岛西海岸新区工委副书记、青岛自贸片区管委主任高善武，青岛市委统战部副部长、市工商联党组书记刘传华，片区工委委员、管委副主任斌，青岛城投集团党委书董事长李蔚，青岛思锐智能科技股份有限公司董事长聂翔等领导嘉宾出席活动。
免责声明：文章仅为分享和学习使用，不做其他商业用途！内容如有侵权，请联系博主删除！（微信号：xinkejiquan001）
