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像素层面,CIS和PD和单点非成像探测器的PD有什么区别?

06/26 08:21
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一. 主要区别:一个更类似光电容,一个更类似光电二极管

CIS的PD两端电压不是恒定的,基于积分形式,随着积分过程,耗尽区缩小,类似水桶 ;但是一般非成像器件的单点器件PD电压被钳位,电荷被及时抽走,类似水龙头。

维度 CIS PD 一般PD
电荷命运 在节点上"存储"一段时间 立即被外部电路抽走
电容角色  是积分电容(信号相关)  是寄生电容(需尽量减小)
电场控制 曝光期间无外部电场调控,靠内建电场 外部偏压维持强反偏电场
读出机制 电荷转移(TG→FD→SF) 电流连续读出

1. CIS中PD电压为什么变化?

在CIS(尤其是4T像素结构)中,PD在曝光期间处于浮置状态

曝光前:通过RST管将PD复位到某一高电位(如),随后RST关断,PD浮置

曝光期间:光子产生电子-空穴对,电子在PD中积累

电压变化:根据 ,积累的电荷导致PD电位

线性下降

这里的电压变化本身就是光强信息,是CIS成像的物理基础。如果PD电压被强制恒定,电荷无法积累,信号就丢失了。

PD电压的动态变化范围直接决定了满阱容量和SNR。

CIS和单PD探测器的对比---动态范围

2. 一般非成像PD为什么电压恒定?

在光电检测、光通信接收机等应用中,PD通常接入有源偏置电路

各种有源偏置电路

    • PD阴极通过低阻抗节点(TIA虚地或固定偏压)箝位,光生电流被即时转换为输出电压,但

PD两端电压由偏置电路强制维持, 这就保证了

    响应速度(耗尽区宽度恒定,载流子渡越时间稳定) , 线性度(避免空间电荷效应导致电场畸变),带宽(结电容恒定,RC时间常数稳定)

当然,还有部分零偏置情况(光伏模式),用于精密测量,PD工作在零偏附近,但电压仍由外部负载决定,不会自由浮动积累电荷。

实际上,CIS的PD在曝光期间的行为更像一个"电容器"而不是一个"二极管",它利用的是PD的电荷存储能力(势阱), 而一般PD利用的是PD的光电转换+电流输出能力

如果强行给CIS的PD加恒定偏压(比如曝光期间不关闭RST),就会变成连续读出模式,此时读出电路将变得异常复杂,就不能实现大规模阵列了。

值得一提的是,CIS的像素电容是有意设计的信号机制(积分型工作),不影响器件速度,而一般PD的电容是不期望的寄生效应,尤其是在高速探测场景,需要尽可能降低这一电容,从而降低RCdelay。

二、 CIS的PD像素演进过程

刚刚提到, CIS的PD在曝光期间的行为更像一个"电容器"而不是一个"二极管",在CIS早期,研究者们也是朝着photogate方向研究的,但是后来这一结构被淘汰,而Photogate 的本质是一个受控的 MOS 电容

PG 开启时:表面形成反型层/积累层,光生电子被拉入势阱

PG 关闭时:电荷被"困"在势阱中,随后通过转移栅(TX)读出

本质:完全就是一个可控的 MOS 电容,电荷在势阱中积分,与 PD 的物理机制一致

Photogate 在提出时的优势也很明显,首先它基于MOS电容结构,暗电流低,通过栅压控制,还可将收集区推离表面缺陷,进一步降低缺陷导致的暗电流噪声;其次栅压控制势阱深度,类似CDD的像素结构,灵敏度高,电荷转移效率接近 100% 。

那么为什么 Photogate 后来被淘汰了呢?主要是以下问题:

多晶硅栅对短波长光(蓝/紫光,~400-450nm)有强烈吸收,降低短波波段量子效率(QE),色彩还原严重失真

填充因子(Fill Factor)极低,PG 的实现需要大面积的栅极金属/多晶硅覆盖,额外的 PG 时钟信号布线,转移栅(TX)和复位管(RST)的隔离区,导致FF很低,感光面积被大量非感光结构占据。

PG需要额外的时钟相位。独立的时钟驱动(不同于 TX 和 RST),增加了像素内布线复杂度、行驱动电路负担、 功耗和噪声耦合路径等,这些都增加了像素阵列电路设计的复杂度。

Pinned Photodiode (PPD)的提出:继承了PG和PD优点,克服了缺点

钉扎光电二极管(PPD)继承了光电的门电荷积分优点,同时通过以下机制克服了其根本局限性。首先,为了抑制表面产生的暗电流,P⁺钉扎层将峰值电场重新定位到体硅中,使电荷收集区域与Si/SiO₂界面陷阱和缺陷在空间上分离。其次,N⁺掩埋层与P⁻外延层和P型衬底共同建立了一个内建电场该,电场自然形成一个用于存储光生电荷的势阱,从而无需外部多晶硅栅极来创建和调制表面电势。第三,通过设计N⁺掺杂分布并控制传输栅极(TX)偏置,以确保完全耗尽和接近100%的传输,效率实现了高效的电荷传输。

关键的创新之处在于通过离子注入实现的超薄P⁺钉扎层。其厚度比传统多晶硅栅极小约一个数量级,从而在蓝紫光波段的光吸收可以忽略不计。将通过耗尽区边界推向体硅,P⁺层有效地将表面状态与有源电荷收集区域隔离开来。因此,与传统的N⁺/P型衬底光电二极管相比,暗电流降低了一到两个数量级,同时填充因子和量子效率得到显著了提高。

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