爱发科销售用于显示及半导体CVD、蚀刻等设备的耐腐蚀处理技术

CINNO Research产业资讯，爱发科（ULVAC）科技株式会社开始销售一项名为“VACAL-Z”的耐腐蚀性处理技术，主要应用于CVD、蚀刻设备（半导体、平面显示屏、电子零部件等工艺中使用的设备）等使用腐蚀性气体的真空设备的内部零部件。此项新技术解决了传统耐腐蚀处理技术的问题点，有助于提高制造工艺中产品的性能和良率。

对于使用腐蚀性气体的真空设备而言，为防止设备内部被腐蚀，需要对其进行防腐蚀处理。以往使用的表面处理技术存在较多问题，如热循环导致设备龟裂（Crack）、加重腐蚀、产生异物（Particle）；此外，覆膜本身含有碱金属等对制造工艺不利的不纯物质，且覆膜也会释放出较多气体。另外，零部件的可覆膜部分也有限。

针对上述问题，爱发科科技株式会社研发了一项名为“VACAL-Z”的耐腐蚀技术，已经应用于爱发科的FPD生产设备且取得了很好的效果。