TGV孔型比较

TGV有几种孔型？两种，单锥型孔与双锥形孔。

单锥型孔

从一侧进入玻璃，孔壁呈锥形分布；

上口直径较大，下口逐渐收窄；

截面形状类似一个“V”或锥形盲孔，贯通后仍保持锥度。

双锥型孔

从两侧同时加工，孔壁从两面向中心收缩；

中部为最窄处（b），上下孔口（a）较大；

形貌呈“沙漏形（hourglass）”或“双V形”；

对称性取决于两面对准精度。

两种孔型是如何形成的？

单锥型孔：

在玻璃基板一面使用 飞秒激光 打孔；激光能量密度沿深度方向衰减，刻蚀速率随深度下降 → 孔壁自然呈锥形；若采用湿法（HF）蚀刻，蚀刻速率也会随扩散限制而降低，同样形成锥角 α；

后续将玻璃研磨减薄至孔底，即可贯通形成通孔。

双锥型孔：

分别在玻璃上下两面用激光或湿法蚀刻形成锥形孔；双面孔在中间汇合（或接近汇合）；再用HF酸刻蚀，即可形成。

单锥型孔与多锥形孔的对比

激光打孔的速率？

每秒打孔4000-5000个。