在半导体制造的精密流程中,晶圆槽式清洗设备发挥着关键作用。以下是一些国内知名的晶圆槽式清洗设备厂家:
苏州芯矽电子科技有限公司:核心产品如 12 寸全自动晶圆化学镀设备和 12 寸全自动炉管 / Boat/ 石英清洗机已占据行业领先地位。
盛美上海:作为国产半导体清洗设备的龙头企业,在晶圆清洗领域占据重要地位。公司专注于半导体湿法设备的研发、生产和销售,其清洗设备占营收比例高达 84%。通过持续的技术研发投入和差异化技术路线,成功打入了海力士、长江存储、华虹集团等知名晶圆厂产线,实现了国产半导体清洗设备的替代突破。
北方华创:国内知名的半导体设备制造商,提供高质量的晶圆清洗设备。致力于为客户提供定制化、高性能、低消耗的工艺解决方案,有效提升客户多个步骤的生产效率、产品良率,并降低生产成本。
至纯科技:在半导体清洗设备领域具有竞争力,注重技术创新和产品研发,不断推出符合市场需求的新产品,以满足半导体制造过程中对清洗设备的需求。
苏州清芯卓半导体设备有限公司:主营产品包括晶圆清洗设备、刻蚀设备、酸碱清洗机、RCA 清洗设备等,可根据客户需求进行改动和定制,还提供老设备更换槽体、升级改造等服务。
若名芯半导体科技(苏州)有限公司:一家集研发、设计、制造与销售于一体的高新技术企业,以自主知识产权为核心,深耕湿法工艺领域,其产品中的槽式清洗机广泛应用于先进封装、功率半导体及存储器等领域。
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