芯耀
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近日，“行家说三代半”发现，华润微、露笑科技、海目芯微等企业在8&12英寸碳化硅技术上接连取得重要进展：
华润微：8英寸SiC MOS顺利产出，其参数、良率均达预期；
露笑科技：其子公司露笑半导体成功生长出高质量8英寸碳化硅晶体；
海目芯微：成功研制出12英寸碳化硅单晶晶锭，核心技术与工艺实现双重突破。
华润微:8英寸SiC MOS已顺利产出
2025年12月底，华润微发文宣布获得2025行家极光奖“双十强”奖项，并在文章中介绍了他们的碳化硅技术相关进展。
华润微在文中提到，在技术布局上，他们的“8英寸SiC MOS于2025年8月顺利产出，参数、良率均达预期，已经开始产品系列化工作。”
据“行家说三代半”了解，2020年7月，华润微电子正式宣告其6寸碳化硅晶圆线实现量产，当时的产能约为1000片/月。
随后华润微在2021-2024年持续在进行SiC项目的设备招标工作，推进碳化硅晶圆线的建设，但尚未对外公布8英寸碳化硅晶圆线的建设信息。
在SiC芯片工艺方面，华润微2020年正式发布了1200V 和650V 工业级SiC肖特基二极管系列产品；2021年发布了SiC MOSFET 和第2代SiC JBS 产品。据华润微最新文章透露，他们的G4 SiC MOSFET产品和G3 SiC JBS 平台已全部量产，基于SiC MOS G4平台开发了650V/1200V两大电压共数十颗产品，2200V高压平台完成验证并启动系列化。此外，他们还实现首轮 SiC 沟槽 MOS 器件及工艺开发，正在进行器件特性优化实验流片中。
华润微基于自主SiC MOSFET芯片的车规级功率模块产品还实现了“上车”突破。2025年10月，华润微在财报中透露，其功率器件事业群自主研发的第四代SiC MOS主驱模块成功导入某头部车企并实现批量上车。
加入碳化硅大佬群，请加微信：hangjiashuo999露笑科技:成功研制8英寸导电型碳化硅衬底
1月16日，露笑科技发文宣布，其子公司露笑半导体已全面掌握8英寸导电型碳化硅晶体生长工艺参数之间的耦合关系，成功生长出高质量8英寸碳化硅晶体。该晶体结晶质量高、晶型控制稳定，确保了衬底的高性能和一致性。
据悉，其8英寸导电型碳化硅衬底表现突出，在微管密度、表面粗糙度、位错密度、电阻率分布均匀性等方面，均已达到或优于行业主流标准。特别是极低的微管密度与良好的表面质量，为下游制造高性能、高可靠性的碳化硅功率器件奠定了坚实基础。
此外，露笑科技还在文章透露，目前其合肥基地一期项目已顺利投产。在此基础上，该公司正积极筹划二期扩产项目，重点聚焦8英寸衬底及外延片产线建设。
值得注意的是，1月17日，露笑科技曾发布公告调整合肥碳化硅基地的调整部分募投项目投资规模。
根据此前报道，2022年6月，露笑科技宣布募资23.5亿元主要用于碳化硅投资项目，其中约19.4亿元用于碳化硅产业园建设，5亿元用于大尺寸碳化硅衬底片研发中心建设，为其当前的技术突破与产能扩张奠定了前期基础。
根据最新公告，露笑科技的“第三代功率半导体（碳化硅）产业园项目募集19.4亿元，截至2025年11月底，该项目的累计投入达为1.26亿元左右；另一个“大尺寸碳化硅衬底片研发中心项目“募集资金总额为4.45亿元左右，截至2025年11月底，该项目的累计投入为6588万元左右。”
露笑科技在公告中提到，为提高募集资金使用效率，他们拟将“第三代功率半导体（碳化硅）产业园项目”总投资金额由21亿元调整为11.5亿元，募集资金计划投资总额由 19.4亿元调整为9.9亿元，并调整节余的募集资金9.5亿元用于永久补充流动资金。
海目芯微：成功研制12英寸的SiC单晶晶锭
1月23日，海目芯微宣布成功研制出12英寸碳化硅单晶晶锭。此举标志着公司在6英寸、8英寸及12英寸全尺寸长晶技术链上实现全面自主可控，也进一步巩固了其在大尺寸碳化硅材料领域的研发实力。
据介绍，该成果依托海目芯微自主研发的电阻式长晶设备与持续迭代的工艺，通过创新温场设计与晶体完整性控制，实现了晶体高质量稳定生长，在核心技术与工艺上取得双重突破。
此外，海目芯微在设备层面也持续取得进展。2025年6月25日，他们已在SiC长晶炉技术上实现新突破。该设备采用模块化设计，可满足8-12英寸并兼容6英寸晶锭的高质量生长需求，实现了晶体生长全流程自动化与智能化控制。更值得一提的是，他们此前还提出“双瓣式”电阻加热物理气相传输（PVT）晶体生长设计方案，攻克了大尺寸碳化硅生长过程中的热场均匀性控制难题，为产业化推进提供了关键技术支持。
公开信息显示，海目芯微成立于2021年3月，系海目星激光旗下子公司。其专注于半导体及泛半导体高端装备的研发与制造，核心业务已覆盖微米级光刻机、第三代半导体（SiC）装备等四大产品系列。目前，公司已通过ISO国际质量管理体系认证，并先后获得国家高新技术企业与“专精特新”中小企业等权威资质认证。
