芯耀
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一、引言
显性横向线性不良是TFT-LCD液晶面板常见的严重显示缺陷，表现为屏幕横向出现连续或间断的亮线、暗线，其成因主要与Array制程中栅极线（横向线路）的短路、断路、接触不良，或TFT器件阵列横向失效相关。这类缺陷会直接破坏画面完整性，导致产品降级或报废，严重影响生产良率。传统修复手段难以精准应对线性延伸的缺陷区域，易损伤周边正常像素。激光修复技术凭借非接触、高精准、可连续扫描修复的优势，成为解决该类显性不良的核心方案。本文系统阐述激光修复TFT-LCD液晶面板显性横向线性不良的方法与流程，为提升面板修复成功率、降低生产成本提供技术参考。
二、显性横向线性不良的成因与修复核心需求
显性横向线性不良的核心成因集中于横向信号传输链路故障：一是栅极线短路，多由Array制程中光刻残留、金属颗粒污染导致相邻栅极线异常导通，使对应横向像素持续带电或失电，形成亮线/暗线；二是栅极线断路，刻蚀过度、膜层脱落或机械损伤导致栅极线局部断裂，信号传输中断，形成暗线；三是横向TFT阵列失效，因半导体层损伤或源漏极接触不良，导致横向连续像素无法正常响应驱动信号。修复核心需求为：精准定位线性不良的延伸范围与核心故障点，实现连续区域的精准修复，同时控制热影响区≤3μm，避免损伤纵向数据线及周边正常像素，保障修复后面板显示均匀性与电学性能稳定。
三、激光修复的核心方法与原理
（一）针对栅极线短路的激光烧蚀修复法
该方法适配栅极线短路导致的显性横向亮线不良，核心原理为激光精准烧蚀短路区域，切断异常导通路径。选用355nm紫外脉冲激光，利用其高光子能量与窄脉冲特性，将光斑直径聚焦至2-5μm，沿短路的栅极线延伸方向进行连续扫描。激光能量密度控制在1.0-1.5 J/cm²，脉冲宽度3-8ns，通过热效应使短路处的金属残留或污染颗粒瞬间气化，同时精准切断异常导通的栅极线局部区域，使相邻栅极线恢复绝缘状态。扫描速度适配线性不良长度动态调整（500-1000mm/s），确保烧蚀彻底且边缘平整，避免残留导电物质导致二次短路。
（二）针对栅极线断路/接触不良的激光退火修复法
适用于栅极线断路或接触不良导致的横向暗线不良，核心原理为激光退火改善材料特性，修复信号传输链路。选用532nm可见光脉冲激光，以低能量密度（0.3-0.6 J/cm²）、长脉冲宽度（15-30ns）对断路区域或接触不良的TFT阵列进行扫描退火。激光热效应可改善栅极线断路处的金属膜层结晶度，促进断裂处材料微熔连接；同时能优化TFT半导体层的晶体结构，提升载流子传输效率，修复横向TFT阵列的驱动功能。对于较长断路区域，采用分段递进式扫描，确保退火均匀性，修复后栅极线信号传输连续性恢复率可达95%以上。
四、激光修复的标准化实施流程
（一）前期检测与定位
1. 将面板置于高分辨率光学检测平台，结合AI视觉识别系统，全幅扫描定位显性横向线性不良的具体位置、延伸长度及缺陷类型（短路/断路）；2. 利用电学测试模块检测不良区域的信号传输状态，精准锁定核心故障段（如短路交汇点、断路断点）；3. 生成包含缺陷坐标、长度、修复路径的详细数据文件，为激光修复提供精准依据。
（二）修复实施与过程监控
1. 预处理：在Class 100级洁净环境中，用无尘布蘸取无水乙醇清洁面板表面，去除灰尘、油污，避免修复时杂质干扰；
2. 参数匹配：根据缺陷类型调用对应修复参数，在面板边缘非显示区域进行小范围测试，确认参数无不良影响后执行修复；
3. 激光修复：依托高精度运动平台（重复定位精度±0.1μm），按预设路径驱动激光头沿线性不良区域连续扫描，过程中通过实时成像系统监测修复状态，动态微调扫描速度与激光能量；
4. 后处理与检验：修复完成后再次清洁面板，通过光学检测与电学性能测试验证修复效果，确认横向线性不良完全消除，无二次损伤，面板显示功能正常。
显示面板激光修复设备：精密修复解决方案
新启航水冷激光修复设备搭载NW激光器，整合精密光学系统、镭射加工/观测专用显微镜及光学物镜，构建起高精度修复核心架构。设备采用X/Y轴自动精细调节、Z轴半自动智能调节模式，搭配大理石精密光学基础载物平台，以卓越的稳定性和操控性，实现对工件特定材质层短路缺陷的精准修补，展现出强大且专业的镭射修复能力。
一、多元适配的应用场景
本设备专为TFT-LCD系列液晶面板修复设计，可覆盖15.6寸至120寸全尺寸范围，精准攻克LCD面板常见不良现象。无论是恼人的亮点、暗点，还是复杂的断半线、竖彩线、竖彩黑线、单竖黑线、双竖黑线及横网等缺陷，都能通过先进的镭射修复技术快速处理，为液晶面板品质提升提供可靠保障。
二、智能协同的先进控制系统
设备采用前沿多线程技术、COM技术，深度融合运动算法与图像视觉算法，实现电机驱动系统、激光控制系统、图像识别系统的高效联动。凭借微米级精准控制能力，可快速、准确锁定产品缺陷点。此外，设备提供全自动四孔鼻轮调焦功能，并支持选配四孔电动鼻轮，满足多样化使用需求。同时，简洁直观的操作界面设计，大幅降低操作人员的学习成本与使用门槛。
三、灵活高效的高兼容性软件系统
针对不同型号激光控制器通讯协议的差异，本设备软件系统进行深度优化。通过将多种激光器通讯协议集成于同一软件，操作人员仅需通过简单的软件选项，即可激活当前使用的激光器。这种设计使激光器对操作者完全透明，让操作人员专注于工艺与功能实现，无需关注激光器具体型号差异，显著提升工作效率与便捷性。
