橡胶密封圈O-ring的作用？

什么是O-ring？

O-Ring（O型密封圈）是工业界最基础、最常见，但也极其巧妙的一种机械密封零件。

简单来说，它的外形就像一个橡胶甜甜圈。之所以叫“O-Ring”，是因为如果你把它切开，它的截面是一个完美的圆形（O型）。

它是如何实现密封的？

O-Ring 的密封不是单纯靠“堵”，而是依靠弹性变形和压力自紧来实现的：

O-Ring 通常被安装在一个机械加工好的沟槽（Groove）里。当两个金属零件拼合压紧时，O-Ring 的圆形截面会被强制压扁（通常压缩率在 10% 到 30% 之间）。这种橡胶的回弹力堵住了零件之间的微小缝隙，形成了初始密封。

当管道或腔体内部有流体（气体或液体）压力时，压力会把 O-Ring 推向沟槽的低压侧，迫使橡胶更紧密地贴合在金属缝隙上。内部压力越大，O-Ring 被挤压得越紧，密封效果反而越好。

橡胶密封圈的核心作用？

1，维持超高真空度：

半导体工艺（如 PVD、CVD、干法刻蚀、离子注入等）绝大多数必须在极其严苛的真空腔体内进行。密封圈安装在腔体盖板、缝隙阀和各个法兰接口处，主要作用就是绝对阻断外部空气进入，维持工艺所需的真空度。一旦密封圈微漏，整个批次的晶圆就会报废。

2，阻绝剧毒与强腐蚀性介质 

3，承受极端的高温与等离子体 

4，控制微粒与释气污染 

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