示差折光检测器

示差折光检测器是一种用于检测物体表面形貌和表面高度的仪器，它是通过利用输入的光束在经过被测物体后产生相位差，进而测量出物体上微小高度变化的工具。

1.什么是示差折光检测器

示差折光检测器是一种利用干涉仪原理，实现对被测物体进行非接触式形貌和高度测量的设备。其主要原理是将输入的单色激光束分成两束，经过参考光路和测量光路的反射或透射后，再由探测器进行数字信号转换和处理，得到被测物体表面微小高度差和形貌。

2.示差折光检测器工作原理

当输入的激光光束照射到被测物体的表面时，其会发生反射或透射，其中的一部分与参考光束重合，导致光程延长或缩短，从而引起光程差的变化，这种变化是与被测物体表面高度差有关的。这种光程差会导致两束光发生相移，而相移的大小与被测物体表面高度差成正比。最后，探测器会测量光干涉条纹的强度变化，并将其转换为电信号进行处理和输出。

3.示差折光检测器作用和用途

示差折光检测器在表面形貌、粗糙度、薄膜厚度等方面具有广泛应用。其主要用于以下领域：

• 半导体晶片制造
• 光学元件制造
• 高精度机械加工和装配
• 医学成像领域

通过使用示差折光检测器进行精密测量，可以大大提高测量精度和效率，减少对被测物体的损伤。