拓荆科技

• 世界芯片产业地图——东北三省

  作为中国重要的老工业基地，东北三省拥有深厚的制造业积淀和丰富的科研资源，近年来在半导体设备、材料、制造等关键环节实现了多项技术突破，形成了以辽宁沈阳为核心、辐射吉林和黑龙江的产业发展格局。在半导体设备特别是薄膜沉积、涂胶显影、精密零部件，尤其是第三代半导体材料领域实现了技术突破，部分产品达到国际先进水平。 2024 年辽宁半导体产业产值达420亿元，沈阳半导体装备产业突破 100 亿元，展现出良好

  王兵

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  10/16 08:17

  ALD 涂胶显影设备

  
• 中微超7亿参设基金、长川收购子公司，国产半导体设备势头正盛

  9月29日，中微公司参与出资的智微资本首期基金——上海智微攀峰创业投资合伙企业（有限合伙） 宣布启动，将正式进入投资期。此前9月23日，中微公司披露，其子公司中微半导体（上海）有限公司（简称 “中微临港”）拟与上海智微私募基金管理有限公司（简称 “智微资本”）及其他投资人共同出资，发起设立上海智微攀峰创业投资合伙企业（有限合伙）。

  全球半导体观察

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  10/09 11:19

  半导体设备

  
• 半导体设备行业“热”背后的冷思考

  光刻机、离子注入机…这些关键设备国产化率仍不足5%。

  夏珍

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  09/12 08:24

  与非观察 半导体设备

  
• 中国半导体前道设备的趋势与挑战——暨在拓荆成立15周年晚会上的讲话

  为什么说竞争格局已经形成？做前道设备，尤其做先进工艺设备必须要和一流客户紧密合作。但是在当前的政治形势和产业形势下，中国设备公司很难和包括中国台湾公司在内的国际先进12英寸厂家紧密合作。这时候中国设备公司要想在先进工艺取得突破，必须和中国大陆仅有的5家做先进工艺的主体紧密合作、深度合作、战略合作。这5个主体我想大家都知道。

  芯谋研究

  939

  05/16 14:30

  半导体设备

  
• 先进逻辑和3D存储的希望，PECVD、晶圆键合龙头——拓荆科技

  随着集成电路制造不断向更先进工艺发展，单位面积集成的电路规模不断扩大， 芯片内部立体结构日趋复杂，所需要的薄膜层数越来越多，对绝缘介质薄膜、导电金属薄膜的材料种类和性能参数不断提出新的要求。在 90nm CMOS 工艺，大约需要 40 道薄膜沉积工序。在 3nmFinFET 工艺产线，需要超过 100 道薄膜沉积工序，涉及的薄膜材料由 6 种增加到近 20 种，对于薄膜颗粒的要求也由微米级提高到纳

  王兵

  9735

  2024/12/10

  与非研究院 CVD

  

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