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TGV工艺用的玻璃有哪些种类?

06/12 15:10
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知识星球(星球名:芯片制造与封测技术社区,点击加入)里的学员问:TGV用的玻璃有什么类型?各有什么差别?TGV的玻璃类型

一般有三种:无碱玻璃, 硼硅酸盐玻璃,石英。

无碱玻璃

基于硅酸盐玻璃,但去除了Na⁺、K⁺等碱金属离子

主要成分:SiO₂ + Al₂O₃ + B₂O₃ + BaO 等

较脆,抗机械冲击能力弱

硼硅酸盐玻璃

SiO₂ + B₂O₃ 为主,少量Na₂O、K₂O、Al₂O₃透明度高,适合激光打孔,是目前最广泛使用的 TGV 材料

石英玻璃

几乎为纯SiO₂(>99.9%),可分为天然石英熔融或合成熔融石英,性能极佳但难加工、成本高

三者性能应用比较

特性/玻璃类型 无碱玻璃 硼硅酸盐玻璃 石英玻璃
SiO₂含量 中高 中等 最高
CTE(热膨胀系数) ~3.5–4.5 ppm/°C ~3.3–3.8 ppm/°C ~0.5 ppm/°C
激光加工性 较好 很好 最难
介电性能 极优
价格 中等偏上 最贵
加工难度 中等
用途 高频封装、RDL 常规封装 高端光电、MEMS

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