知识星球(星球名:芯片制造与封测技术社区,点击加入)里的学员问:TGV用的玻璃有什么类型?各有什么差别?TGV的玻璃类型
一般有三种:无碱玻璃, 硼硅酸盐玻璃,石英。
无碱玻璃
基于硅酸盐玻璃,但去除了Na⁺、K⁺等碱金属离子
主要成分:SiO₂ + Al₂O₃ + B₂O₃ + BaO 等
较脆,抗机械冲击能力弱
硼硅酸盐玻璃
SiO₂ + B₂O₃ 为主,少量Na₂O、K₂O、Al₂O₃透明度高,适合激光打孔,是目前最广泛使用的 TGV 材料
石英玻璃
几乎为纯SiO₂(>99.9%),可分为天然石英熔融或合成熔融石英,性能极佳但难加工、成本高
三者性能应用比较
| 特性/玻璃类型 | 无碱玻璃 | 硼硅酸盐玻璃 | 石英玻璃 |
|---|---|---|---|
| SiO₂含量 | 中高 | 中等 | 最高 |
| CTE(热膨胀系数) | ~3.5–4.5 ppm/°C | ~3.3–3.8 ppm/°C | ~0.5 ppm/°C |
| 激光加工性 | 较好 | 很好 | 最难 |
| 介电性能 | 优 | 良 | 极优 |
| 价格 | 中等偏上 | 低 | 最贵 |
| 加工难度 | 中等 | 低 | 高 |
| 用途 | 高频封装、RDL | 常规封装 | 高端光电、MEMS |
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