ATA-4315高压功率放大器驱动声流控的TGV微通道无泵填充技术研究

实验名称：ATA-4315高压功率放大器在声流诱导TGV内液体介质填充中的应用

实验内容：利用高压功率放大器（AIGTEK的ATA-4315）对信号放大以驱动压电换能器；压电元件向带有不同规格TGV的基板均匀辐射超声波，以诱导完成TGV内液体介质进行填充。结合数值分析，探讨了驱动电压幅值和盲孔深宽比对填充速度和气泡运动特性的影响。

研究方向：TGV先进封装设备与工艺

测试设备：ATA-4315高压功率放大器，信号发生器，高速相机，示波器等。

实验过程：

在喷涂单元中，工业喷头在控制系统的信号驱动下向基板均匀喷涂液体，并按照规划进行往复运动。在驱动单元和超声辅助装置中，信号发生器由直流电源供电，将直流信号转换为正弦波信号，并通过高压功率放大器（AIGTEK的ATA-4315）对电压波形进行放大。超声换能器通过逆压电效应将交流信号转换超声振动，进而向带有微结构孔的基板均匀辐射声波，以辅助完成TGV深孔填充。

实验结果：

该装置特定参数下可以稳定促进气泡排出以实现完全填充。在电压峰-峰值Vp-p=160V，频率f=522.5kHz的正弦波驱动下，直径1/1.5mm，深宽比1:2/1:3的TGV均可以实现理想填充效果。将微孔内液体的填充划分为两个阶段：超声诱导润湿面扩展以实现完全润湿状态，和促进被困气泡段提升排出微孔。