全球量测设备供应商全收录：线宽、套刻（2026）

好久没有发布量检测设备相关的供应商数据了。所以，今天就发布一个吧量检测设备其实分为检测（Inspection）和量测（Metrology）两个部分，而量测设备的种类有特别多。其中最常被提到，也是技术含量相对比较高的是关键尺寸（CD: Critical Dimension）和套刻精度（Overlay）。

同时量测对象有可以分为晶圆和掩模版不仅如此，针对不同应用和技术指标，其具体实现的技术路径就更多了。按照这个分类，我做了一个供应商的数据整理。供大家参考

完整版量检测设备信息原始EXCEL文档《全球检测量测设备仪器供应商及产品统计》，我已经放到了知识星球的云盘上供会员使用。如果您对此类数据有兴趣，欢迎加入我的知识星球后获取 -- 文章最后有加入方式

具体技术路径分类说明表如下：

完整表格截图样例：