从半导体厂务到附属设备、化学品回收，盛剑科技如何把“减排”做成生意？

近年来，随着全球对半导体制造绿色发展及碳排放要求的日益严格，加上国内半导体产业对供应链自主可控的需求不断提升，减排与国产替代已成为晶圆厂在设备采购时的两大核心考量。传统晶圆厂往往将厂务废水废气治理与前端主工艺设备分开采购，这在运营中容易带来能耗过高、系统协同效率低等问题。如何在确保技术达标的前提下降低长期运行成本，成为当前设备与厂务技术迭代的重要方向。

在2026年10月12日的工博会上，盛剑半导体常务副总涂科云接受与非网记者专访，阐述了公司从厂务系统向附属设备及化学品回收延伸的战略逻辑。

盛剑科技此次参展的业务部署主要围绕ESG展开。在厂务端，公司主要解决半导体企业的工艺废气处理，实施极速处理与低排放。在主工艺附属设备端，则涵盖Local Scrubber、温控设备、真空泵、分子泵及低温泵，主打低能耗与高处理效率，直接对标海外进口品牌。今年公司刚推出的“Scrubber与真空泵一体机”，将真空泵和工艺废气处理设备集成在一起，在外延等产生大量氢气的特殊工艺中，该设备能避免远距离传输的安全风险，并在保证运行安全的基础上降低了能耗。

与传统化学品材料商不同，盛剑科技在化学品板块选择从回收系统切入，再做对应材料。该回收再生系统在厂内直接与客户对接，大约能将70%至80%的废旧液提纯回收，之后只需添加20%左右的新液即可持续循环。这种在厂内建立回收系统、避免二次转运的做法，在海外厂商中已有成熟先例，如台积电、美光等大厂已经在推行此类方案。盛剑科技将这种行业成熟模式引入国内，目前在半导体显示等领域已拥有充分成熟的本地落地案例。

从这些业务的演进可以看出，盛剑科技的整体战略在于“产品延伸+行业延伸”。公司最早以绿色厂务系统起家，随后向前端延伸至Local Scrubber、温控等附属设备，以及横向延伸至化学品供应与回收再生；在行业层面，则从半导体显示、半导体集成电路逐步拓宽至新能源领域。

涂科云特别强调，盛剑科技并非系统集成商，而是一家制造型企业。公司成立初期即有工厂，2012年由纯产品制造转向厂务系统技术业务。目前，厂务系统中核心的转轮RTO等VOC治理设备均为公司自制。在资源分配上，成熟的厂务线目前主要侧重优化设计与政策跟进；设备线则是研发重心，目前已发展出六大系列平台，为此公司去年3月上海嘉定工厂投入运营；化学品业务则主要与日本厂家技术合作，在国内进行国产化生产。

在供应链层面，为了应对未来的国产化需求，盛剑科技已与国内电机龙头卧龙电驱签署全球战略协议，联合开发高效电机与变频器。此外，机加工环节也由自建工厂承担，后续将逐步提高传感器等零部件的国产化替代比例。

面对国内设备市场的同质化竞争，涂科云认为，单纯比拼裸机交付价格容易导致恶性竞争。对此，盛剑科技倡导客户进行“全生命周期管理”的评估，建议客户以8到10年为周期，将裸机价格、运营能耗费用、后期维保费用以及处理效率综合考量。通过技术优化降低能耗，设备在运营期内省下来的费用，往往可以抵消裸机的采购成本，这也是公司避开低价竞争的技术壁垒。

谈及市场行情，涂科云表示，虽然部分机构曾预测中国半导体设备业务因晶圆厂建厂数量减少而可能下滑，但自今年二季度起，国内无论是存储还是逻辑晶圆厂都在加大投入、扩建新厂，晶圆需求依然紧张。

在全球化布局上，盛剑科技已于2024年出海并在新加坡设立总部，作为海外研发与销售的中转站。目前业务已逐步延伸至东南亚国家，未来计划进一步拓展至欧洲市场。东南亚与欧洲对低碳和碳排放收费标准要求较高，公司在海外积累的ESG合规与低碳研发能力，也正加速反哺其在国内市场的业务建立。