电子束

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电子经过汇集成束。具有高能量密度。它是利用电子枪中阴极所产生的电子在阴阳极间的高压(25-300kV)加速电场作用下被加速至很高的速度(0.3-0.7倍光速),经透镜会聚作用后,形成密集的高速电子流。

电子经过汇集成束。具有高能量密度。它是利用电子枪中阴极所产生的电子在阴阳极间的高压(25-300kV)加速电场作用下被加速至很高的速度(0.3-0.7倍光速),经透镜会聚作用后,形成密集的高速电子流。收起

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  • 电子束量测“全科生”IPO辅导验收
    东方晶源微电子完成IPO辅导验收,迈入科创板冲刺期,成为国内唯一实现电子束量检测四大品类全部商业化量产的公司。东方晶源凭借自主研发的电子束缺陷检测设备EBI、关键尺寸量测设备CD-SEM、缺陷复检设备DR-SEM和高能电子束设备HV-SEM,成功打入国际市场,并获得重要战略合同。东方晶源计划在未来三年内推动核心产品的规模化量产,加速AI驱动技术的应用,有望引领半导体量检测设备行业的变革。
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    06/22 22:30
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