电子束_电子束是什么意思

北京电子束检测+计算光刻龙头要IPO了！

东方晶源微电子科技于2026年6月30日提交科创板IPO申请，计划融资25亿元，成为国内少数同时具备电子束量检测设备与制造类EDA的企业。公司自成立以来专注于芯片制造一体化良率解决方案，硬件方面涉及电子束量检测设备，软件方面则开发了计算光刻软件。尽管目前仍处于亏损状态，但公司计划通过提高设备精度与产能，加强软件迭代，并补充流动资金来推动业务发展。东方晶源的上市标志着国产良率管理赛道的重要进展，有望加速进口替代进程。

是说芯语

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07/03 08:13

电子束

电子束曝光系统的分类

电子束曝光是一种利用聚焦电子束直接在涂有光刻胶的基板上“写”出图形的技术，无需掩模，分辨率极高（可达纳米级），主要用于掩模制作和高分辨率图形化。其主要分为两大类：一类用于掩模制作，追求大面积和高效率；另一类用于高分辨率图形化，追求极致分辨率。掩模制作系统采用圆形束或成形束，光栅扫描或矢量扫描，而高分辨率图形化系统则使用极小的圆形束进行点对点扫描。

TOM聊芯片智造

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06/29 08:09

电子束

电子束量测“全科生”IPO辅导验收

东方晶源微电子完成IPO辅导验收，迈入科创板冲刺期，成为国内唯一实现电子束量检测四大品类全部商业化量产的公司。东方晶源凭借自主研发的电子束缺陷检测设备EBI、关键尺寸量测设备CD-SEM、缺陷复检设备DR-SEM和高能电子束设备HV-SEM，成功打入国际市场，并获得重要战略合同。东方晶源计划在未来三年内推动核心产品的规模化量产，加速AI驱动技术的应用，有望引领半导体量检测设备行业的变革。

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06/22 22:30

IPO 电子束

电子束光刻机将用于芯片量产？

近日，一些媒体报道了英国部署电子束光刻机相关的新闻，并号称打破ASML的EUV技术垄断。部分报道甚至号称这是全球第二台电子束光刻机，能绕过ASML。实际上当前没有任何信息表面该电子束曝光机可以用于5nm制程的芯片量产的光刻环节。在这些媒体的报道中，英国似乎已经拳打ASML，脚踢EUV了。那事实真的如此吗？实际情况到底如何呢？

半导体产业纵横

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2025/05/28

光刻机光刻技术