全球半导体晶圆膜厚量测设备供应商汇总

我第一份工作是在国内某晶圆厂里做CVD工艺工程师，所以也接触和使用过膜厚量测设备。当时觉得光学膜厚量测的原理比较简单，技术难度不是很高但后来和行业专家交流以后，才知道真对各种类型的薄膜，要保证量测的精度，技术上也不是那么容易。尤其是下层薄膜也是透明膜时，薄膜间的界面的区分和处理也是难点...

所以今天就顺手整理一个膜厚的量测设备供应商数据：包含介质膜和不透明金属膜两大类，四种技术路径

以下为英文缩写的名词解释：

XRR :  X-ray Reflectivity X射线反射率

XRF:  X-ray Fluorescence X射线荧光光谱分析

本文表格内容的详细数据（整合在全球晶圆量检测设备供应商数据文档里）的原始文档，我放到了知识星球的云盘上供会员使用。如果您对此类数据有兴趣，欢迎加入我的知识星球后获取 -- 文章最后有加入方式

以下为原始表格截图：包含142家供应商、49类设备信息

我收集了近十年的行业数据已经覆盖了八成以上半导体制造上游的供应链链，还有大量的原创行业景气度数据分析和研报。现在所有数据原始文档都贡献出来，给你个一锅端走的机会(云盘直接同步我电脑硬盘随时更新)另外还有大量的线上半导体知识讲座

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