在晶圆减薄(Backgrinding)和划片切割(Dicing)工艺中,业界越来越倾向于全面采用 UV 膜替代传统的压敏型胶带,最核心原因:UV膜实现了"黏性可切换"。
普通压敏膜的黏性是固定的,而划片和减薄工艺存在一个内在矛盾:
工艺过程中:需要强黏性 → 牢牢固定晶圆/芯片
工艺结束后:需要弱黏性 → 轻松剥离,不损伤
普通固定黏性的膜无法同时满足这两个相反的需求——黏性强则剥离困难、损伤芯片,黏性弱则固定不牢、加工时移位。
UV膜通过UV照射实现黏性从强到弱的切换,完美解决这个矛盾:
加工时:高黏性,牢固固定
↓
UV照射
↓
剥离时:低黏性,轻松取下
以划片切割为例,UV膜的好处?
1. 切割时强黏——防止芯片移位飞溅
切割时晶圆受到刀片高速旋转的机械力和振动
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UV膜高黏性牢牢固定每颗芯片
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防止芯片移位、跳动、飞溅
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保证切割精度和良率
切割是高振动过程,芯片如果固定不牢会移位甚至飞出,UV膜切割时的强黏保证了固定可靠性。
2. 拾取时弱黏——保护芯片、便于Die Pick
切割完成 → UV照射 → 黏性骤降
↓
顶针轻轻顶起+真空吸附就能拾取
↓
拾取力小,不损伤芯片
拾取(Die Pick)是从膜上取下芯片的环节,如果黏性太强,顶针顶起时容易顶裂芯片,UV照射降黏后拾取应力小,芯片完好。
3. 无残胶——保证洁净度
UV交联后黏着剂固化,剥离干净,芯片背面不残留胶,满足后续贴装和半导体洁净度要求。
uv膜与普通胶带的对比:
| 维度 | UV膜 | 普通压敏膜 |
|---|---|---|
| 加工时固定 | 强黏,牢固 | 黏性适中 |
| 剥离力 | 降黏后极小 | 固定,较大 |
| 对超薄晶圆 | 剥离应力小,不破裂 | 剥离力大,易扯裂 |
| 对易损芯片 | 拾取不损伤 | 拾取可能顶裂 |
| 残胶 | 几乎无 | 可能残胶 |
| 洁净度 | 高 | 一般 |
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