离子注入机

• 北京半导体设备“小巨人”，启动IPO

  中科信半导体成立仅三年，已完成A股IPO辅导备案，成为我国半导体离子注入装备领域龙头。公司由中电科48所与北京中科信离子注入业务战略整合组建，主营离子注入机，具备28nm工艺制程设备研发能力，累计出货超百台，年出货量与销售额居国产离子注入机厂商首位。

  芯东西

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  06/08 23:14

  离子注入机
• 【海翔科技】瓦里安 VARIAN E500 HP 系列 二手离子注入设备拆机/整机｜现场验机测试结果

  一、引言 离子注入机作为半导体制造前段制程的核心精密装备，通过精准掺杂改变半导体材料电学特性，是实现集成电路高集成度、高性能的关键工艺设备。其中中电流离子注入机凭借兼顾精度与效率的掺杂能力，在阱隔离、抗闩锁、沟道形成等核心工艺中占据重要地位。瓦里安（VARIAN）VIista 系列作为中电流离子注入机领域的经典机型，凭借优异的工艺控制精度、灵活的制程适配性与稳定的运行表现，在二手设备市场保有量极高

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  02/07 10:00

  半导体 离子注入机
• 【海翔科技】应用材料AMAT/APPLIED MATERIALS 二手9500xR/9200

  一、引言 离子注入机作为半导体制造前段制程的核心精密装备，通过精准掺杂改变半导体材料电学特性，是实现集成电路高集成度、高性能的关键工艺设备。在全球半导体产业先进制程攻坚与成熟制程扩产并行的趋势下，优质二手高端离子注入机凭借高性价比优势，成为平衡技术需求与成本控制的重要选择。应用材料（AMAT/APPLIED MATERIALS）作为全球离子注入机领域的领军企业，其量子 III（Quantum II

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  01/26 15:59

  半导体 离子注入机
• 【海翔科技】应用材料AMAT/APPLIED MATERIALS 二手量子 III 离子注入机 Qu

  一、引言 离子注入机作为半导体制造前段制程的核心精密装备，通过精准掺杂改变半导体材料电学特性，是实现集成电路高集成度、高性能的关键工艺设备。其中低能离子注入机（能量通常小于100keV）专为源漏极浅掺杂等精细工艺设计，是逻辑芯片与存储芯片制造的核心设备之一。在全球半导体产业成熟制程扩产与成本控制需求双重驱动下，优质二手高端低能离子注入机凭借高性价比优势，成为中小晶圆厂及产能扩充项目的重要选择。应用

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  01/26 10:47

  半导体 量子
• 【海翔科技】应用材料AMAT/APPLIED MATERIALS 二手量子LeapII低能离子注入机

  一、引言 离子注入机作为半导体制造前段制程的核心精密装备，通过精准掺杂改变半导体材料电学特性，是实现集成电路高集成度、高性能的关键工艺设备。在全球半导体产业向先进制程攻坚与成熟制程扩产并行的趋势下，优质二手高端半导体设备凭借高性价比优势，成为平衡技术需求与成本控制的重要选择。应用材料（AMAT/APPLIED MATERIALS）作为全球离子注入机领域的领军企业，其量子 9500xR 型离子注入机

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  01/23 15:15

  半导体 量子
• 【海翔科技】应用材料AMAT/APPLIED MATERIALS 二手量子 9500xR 离子注入机

  一、引言 离子注入机作为半导体制造前段制程的核心精密装备，通过精准掺杂改变半导体材料电学特性，是实现集成电路高集成度、高性能的关键工艺设备。在全球半导体产业向先进制程攻坚与成熟制程扩产并行的趋势下，优质二手高端半导体设备凭借高性价比优势，成为平衡技术需求与成本控制的重要选择。应用材料（AMAT/APPLIED MATERIALS）作为全球离子注入机领域的领军企业，其量子 leap 系列离子注入机凭

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  01/22 13:16

  工业半导体 离子注入机
• 国产离子注入机突破之道

  离子注入机作为半导体制造中的关键设备，因其技术复杂性和市场垄断而备受关注。国内企业在离子注入机的研发和应用上取得了进展，特别是在超低温冷注入和热注入技术方面有所突破。凯世通通过技术创新和全周期服务体系的构建，提升了离子注入机的整体竞争力，并计划在未来进一步提升技术水平，推动国产化进程。

  芯谋研究

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  2025/11/05

  离子注入机

  
• 2024 CSEAC：半导体设备国产化加速，竞争力在哪里？

  尊重知识产权和打造差异化竞争优势是中国半导体产业健康发展的关键。当前，低价竞争导致的低毛利已成为行业发展的主要障碍，它削弱了设备企业的研发能力，阻碍了技术的迭代升级。半导体设备厂商需要维持40%-50%的毛利润率，以确保持续的研发投入和技术创新。非法的设备翻新和抄袭行为不仅侵犯了知识产权，也不利于企业的长期发展。

  夏珍

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  2024/10/15

  半导体设备 与非研究院

  
• 通俗理解晶圆制造中的离子注入机台

  离子注入过程就像是一个高速公路上的投射系统，从离子源开始“起步”，通过加速和质量分离进行挑选，经过加速通道达到高速，然后通过镜头和偏转装置精准瞄准，最终将晶圆作为终点，精准完成掺杂。

  老虎说芯

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  2024/10/11

  晶圆制造 离子注入机

  
• 聊聊国内首台重大技术装备（2）

  上次，介绍了《首台（套）重大技术装备推广应用指导目录（2024年版）》中介绍的硅外延炉，湿法清洗机，氧化炉，见文章：《聊聊国内首台重大技术装备（1）》 这次来解读一下目录中提到的匀胶显影机，光刻机及离子注入机。

  TOM聊芯片智造

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  2024/09/19

  光刻机 离子注入机
• SiC离子注入设备的厂家有哪些？

  学员问：我想咨询一下国内做SiC离子注入设备的厂家有哪些？如下图，目前下图是国内已知的稍大的离子注入设备供应商，相对国外的AMAT,Axcelis相比，实力会差很多。主要体现在：

  TOM聊芯片智造

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  2024/08/05

  SiC 离子注入
• 除了光刻机，哪类设备国产替代空间最大？

  半导体产业链环节多且复杂，尤其是上游半导体设备和材料，因制造流程繁多，涉及到很多细分行业。根据WSTS数据，中国半导体元器件市场在全球占比高达43%，而同期SEMI数据，中国半导体设备销售额296亿美元，全球占比29%，中国半导体设备市场规模全球占比低，相比与元器件市场非常不匹配。 近期A股市场，以中微公司为代表的半导体设备公司表现异常抢眼。本文将梳理本土半导体设备厂商的竞争格局，定量感受本土厂商

  史德志

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  2023/04/08

  国产替代 光刻机

  
• 设备 | 总投资6.5亿元！住友重机投资新厂，离子注入机产能有望提高两倍

  CINNO Research产业资讯，住友重机械工业于10月27日宣称，要新建工厂用于生产半导体制程中使用的离子注入设备。

  CINNO Research

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  2020/11/14

  5G 离子注入机
• 烁科中科信：离子注入机国产替代步伐提速

  2020年6月15日，烁科中科信宣布，12英寸中束流离子注入机顺利搬入集成电路大产线，此举标志着国产离子注入机市场化进程迈向新台阶

  赵元闯

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  2020/06/19

  国产替代 离子注入机
• 烁科中科信低能大束流离子注入机获北京科技进步一等奖

  2020年3月26日，北京市科学技术奖励工作办公室公示了2019年度北京市科学技术奖各评审委员会项目评审结果。

  赵元闯

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  2020/04/07

  集成电路 离子注入机
• 从离子注入机实现0突破谈到光刻机，这差距你不得不服

  去年说到今年的芯片， 芯片制造已经成为吃瓜群众都能谈上几句的话题。当然很多人对芯片其实并不能有一个准确的定位。很多时候直接用芯片代替半导体、集成电路、晶圆等词汇，其实它们之间是有一定差异的。

  邱丽婷

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  1评论

  2019/01/23

  芯片 趣科技
• 离子注入设备

  离子注入设备是一种关键的半导体加工设备，用于在半导体材料表面注入离子以改变其性质。这种技术被广泛应用于半导体制造工艺中，可以调控半导体器件的电学性能、化学性质和结构特征。离子注入设备的发展推动了现代电子设备的不断进步，本文将介绍离子注入设备的定义、原理、应用、优势、技术发展。

  芯次元玩家

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  06/25 17:12

  离子注入机
• 离子注入机

  离子注入机（Ion Implanter）是一种用于在半导体、材料科学和其他领域中控制材料性质的设备。该技术通过将离子束加速并注入到固体材料表面，改变其物理、化学性质，实现材料改性、掺杂、硬化等目的。离子注入机在半导体工业中起着关键作用，广泛应用于芯片制造、光电子器件制备、纳米材料研究等领域。本文将探讨离子注入机的定义、工作原理、应用、优势。

  芯次元玩家

  2935

  2025/06/03

  离子注入机

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