台湾积体电路制造股份有限公司是中国台湾省政府、飞利浦公司和其他私人投资者的合资企业,于1987年2月21日在中国台湾省注册成立。台积电是目前全球半导体行业最大的晶圆代工厂。台积电根据客户自己或第三方的专有集成电路设计,使用其制造工艺为其制造半导体。台积电提供全面的晶圆制造工艺,包括制造CMOS逻辑、混合信号、射频、嵌入式存储器、BiCMOS混合信号和其他半导体的工艺。台积电还提供设计、掩模制作、探测、测试和组装服务。
公司地址:中国台湾新竹科学园区力行六路8号。
一、TSMC 制程技术全景解析(按节点演进)
1. 0.18μm ~ 0.13μm ~ 90nm
0.18μm (1998):全球首个低功耗制程。极大促进了移动通信、便携式电子设备的发展。
0.13μm (2002):推出全球首个低k介质与铜互连整合的SoC制程,打破性能与功耗瓶颈。
90nm (2004):全球首次在量产中应用193nm浸没光刻(Immersion Lithography),晶体管密度和性能全面提升。
台积电的制程技术演进示意图如下:
2. 65nm ~ 55nm
65nm (2005):第一个量产低功耗(LP)制程,同时推出GP、MS/RF等多种衍生制程。
55nm:65nm的简化优化版,尺寸更小,功耗进一步下降,适合IoT与车用市场。
特点:双倍90nm单元密度,能效比显著提升。
应用:智能手机、IoT设备、车载芯片、智能穿戴。
3. 40nm
40nm (2008):首次使用193nm沉浸式光刻+超低k材料,提升性能、降低功耗。
40LP / 40ULP:特别适配智能手机、数字电视、可穿戴设备、低功耗IoT产品。
特色:当时业界最小的SRAM尺寸(0.242µm²)。
扩展技术:RF、嵌入式闪存、BCD工艺。
4. 28nm ~ 22nm
28nm (2011):TSMC推出最完整的28nm制程家族(包括28HPC/28HPC+/28ULP等)。
22ULP / 22ULL (2018):在28nm基础上进一步降低功耗,针对低功耗应用如可穿戴与IoT。
应用:5G射频、汽车雷达、IoT SoC、电池供电型消费品。
5. 20nm
20nm (2014):全球首个采用双重图案化(Double Patterning)的量产制程。
特别强调晶体管与互连能效,适合高性能运算与高密度集成芯片。
里程碑:TSMC最快量产爬坡节点。
6. 16/12nm FinFET
16nm FinFET (2015):TSMC首次引入FinFET 3D晶体管架构,大幅降低漏电流,提高效能。
12nm:16nm的性能增强版,提升密度和功耗比。
适用领域:高性能运算(HPC)、高端手机应用处理器(AP)。
7. 10nm
10nm (2017):比16nm密度提升2.1倍,功耗降低40%。
应用:高端移动处理器。
8. 7nm (N7/N7+)
N7 (2018):大规模量产节点,首次支持智能手机、HPC同步应用。
N7+ (2019):首个商用EUV(极紫外光)光刻工艺的量产节点。
9. 6nm (N6)
N6 (2020):7nm的演进版,兼容N7 IP,提升性能和密度。
适配范围:智能手机、高性能计算、消费电子。
10. 5nm (N5/N5P/N4/N4P/N4X/N5A)
N5 (2020):第二代EUV节点,提供最佳功耗、性能和面积(PPA)表现。
N5P / N4 / N4P:逐步优化版,持续提升频率与降低功耗。
N4X:专为HPC量身定制的加强版。
N5A:面向汽车应用优化。
特点:适配旗舰手机、AI/HPC加速器、车规级芯片。
11. 3nm (N3/N3E/N3P/N3X/N3AE)
N3 (2022):FinFET架构最后一代的高端制程,进一步强化PPA优势。
N3E / N3P:性能增强版。
N3X:针对超高性能计算(HPC)定制。
N3AE:面向车规级应用。
说明:更低功耗与更高密度,主要针对AI、服务器、车载。
12. 2nm (N2) —【即将量产:2025年】
N2:首次引入nanosheet(纳米片)晶体管架构,跨越传统FinFET瓶颈。
特色:
超低电阻RDL重新布线层
超高性能MiM电容器
极致能效与晶体管密度
量产时间:预计2025年。
客户进展:主要客户已完成2nm IP设计,开始硅验证阶段。
13. A16 (基于N2的延伸)
A16™:搭载Super Power Rail(SPR)背面供电架构。
优势:
速度提升8%-10%
功耗降低15%-20%
芯片密度提升7%-10%
特别适用:HPC复杂信号/密集供电需求芯片。
小结
从90nm平面晶体管到16nm/7nm FinFET,再到2nm nanosheet,TSMC持续通过架构革命,推动摩尔定律演进。
TSMC不仅做制程,还同步开发配套的IP、封装与测试技术,形成端到端的技术生态。
延伸阅读:
中芯国际(SMIC)的制程技术介绍
芯片销售从入门到实战:大客户销售成功之道
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二、台积电特色制程(Specialty Technologies)解读
TSMC除了在先进工艺(N5、N3、N2节点)领先全球外,还拥有业内最完整、最强大的特色制程(Specialty Technologies)组合,广泛应用于移动设备、汽车电子、医疗、穿戴设备、物联网(IoT)等领域。特色制程主要包括:
1. MEMS & Sensor SoC 技术
技术内容:
2011年首创Sensor SoC工艺,把MEMS器件和CMOS逻辑集成在一块芯片上,结合堆叠技术(wafer stacking)。
制程节点覆盖从0.5µm到0.11µm。
支持G-sensor、陀螺仪、压力传感器、微流体、生物基因芯片等。
代表成就:
2018年推出全球首款单片CMOS-MEMS电容式气压计,灵敏度可探测5cm高度变化,封装尺寸小于1mm²。
未来规划:
开发高灵敏薄膜麦克风(Thin Microphone)。
推动MEMS Si-pillar TSV(硅通孔)技术,用于更高集成度和更小封装。
✅ 工程师要点:MEMS制程打通了传感器与逻辑电路的融合路径,大幅减小体积、功耗,并提升系统性能,适合高端可穿戴、导航等场景。
2. CMOS Image Sensor(CIS)技术
技术内容:
从0.5µm到12nm节点的完整影像传感器制程平台。
支持手机摄像头、车载影像、机器视觉、医疗影像、安防监控、玩具摄像头等应用。
前沿进展:
全球快门(Global Shutter)CIS与增强近红外(NIR)CIS,适配机器视觉和自动驾驶。
2023年台积电帮助客户推出了动态范围(HDR)全球最高的CIS产品,特别强化了ADAS(高级辅助驾驶系统)和自动驾驶应用。
✅ 工程师要点:台积电在CIS领域不仅量产领先,还不断创新NIR感知、HDR动态范围、速度与能效,机器视觉与车用影像需求是未来重点。
3. Embedded Non-Volatile Memory(eNVM,嵌入式非易失性存储器)
技术内容:
包括OTP(一次可编程)、MTP(多次可编程)、Flash、MRAM、RRAM。
eFlash平台从0.5µm到40nm,支持消费、工业、车规级应用。
前沿进展:
2018年量产40nm车规eFlash。
推进28nm eFlash,满足汽车电子和MCU需求。
开发40nm嵌入式RRAM,以及22nm的嵌入式MRAM(通过JEDEC高温寿命验证)。
✅ 工程师要点:eNVM是IoT、MCU和汽车芯片的基础,台积电在低功耗、高可靠性方面深耕,RRAM和MRAM是下一代超低功耗存储器方向。
4. RF / Mixed Signal(MS/RF)技术
技术内容:
领先的混合信号/射频(MS/RF)制程,覆盖5G、Wi-Fi 7、IoT无线通信。
平台包括12FFC+ RF(N12e为基础)、N6RF/N6RF+、16FFC RF。
应用方向:
支持毫米波(mmWave)频段(28/39/47GHz)和汽车雷达(77/79GHz)。
引入了NCS(非导电应力)和老化模型,优化汽车雷达功率放大器设计。
✅ 工程师要点:5G/毫米波无线通讯和智能汽车雷达模块,MS/RF制程直接影响芯片的连接速度、能效与可靠性。
5. 高压(HV)制程技术
技术内容:
从0.5µm到28nm,覆盖显示驱动、高压模拟应用。
28HV制程基于28HPC+平台,支持0.9V低Vdd,集成128Mb SRAM。
应用方向:
面板驱动(OLED)、高端电视、智能手机显示、AR/VR显示(µOLEDoS)。
✅ 工程师要点:HV制程是OLED显示驱动芯片(DDIC)发展的关键,尤其是AR/VR小型高PPI屏幕领域需求爆发。
6. BCD(Bipolar-CMOS-DMOS)功率管理技术
技术内容:
节点覆盖0.6µm到40nm,适用于功率管理IC(PMIC)。
40nm第二代BCD技术,兼容ULP工艺(支持5-28V高压组件)。
发展方向:
正在开发全球最先进的22nm BCD平台,目标是降低功耗、缩小芯片面积,服务新能源汽车、服务器等高端市场。
✅ 工程师要点:BCD技术提升电源芯片性能和集成度,是车规PMIC和移动设备供电管理芯片的重要制程。
7. Ultra-Low Power(ULP)技术平台
技术内容:
节点包括40ULP、22ULL、N12e、N6e。
支持超低漏电(ULL)核心设备、低Vdd SRAM、超低能耗逻辑应用。
应用场景:
IoT、穿戴设备、智能家居、工业4.0、智慧城市、AI边缘计算。
✅ 工程师要点:ULP技术直接决定了IoT/AIoT设备的续航能力,是能源转型、碳中和背景下芯片能效提升的核心。
总结图表
| 制程平台 | 主要节点 | 代表应用 | 技术特点 |
|---|---|---|---|
| MEMS | 0.5µm-0.11µm | 传感器芯片 | MEMS与CMOS单片整合 |
| CIS | 0.5µm-12nm | 摄像头、机器视觉 | 高动态范围、NIR增强 |
| eNVM | 0.5µm-40nm | MCU、车规存储 | eFlash、RRAM、MRAM |
| RF/MS | 12nm-16nm | 5G、毫米波雷达 | 高频/高效能射频 |
| HV | 0.5µm-28nm | OLED显示驱动 | 高压低功耗 |
| BCD | 0.6µm-40nm | PMIC、车载电源 | 高压集成、低能耗 |
| ULP | 40nm-6nm | IoT、穿戴AI | 超低功耗/低Vdd |
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