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台积电(TSMC)的各种制程技术解读

04/28 08:42
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台湾积体电路制造股份有限公司是中国台湾省政府、飞利浦公司和其他私人投资者的合资企业,于1987年2月21日在中国台湾省注册成立。台积电是目前全球半导体行业最大的晶圆代工厂。台积电根据客户自己或第三方的专有集成电路设计,使用其制造工艺为其制造半导体。台积电提供全面的晶圆制造工艺,包括制造CMOS逻辑、混合信号、射频嵌入式存储器、BiCMOS混合信号和其他半导体的工艺。台积电还提供设计、掩模制作、探测、测试和组装服务。

公司地址:中国台湾新竹科学园区力行六路8号。

一、TSMC 制程技术全景解析(按节点演进)

1. 0.18μm ~ 0.13μm ~ 90nm

0.18μm (1998):全球首个低功耗制程。极大促进了移动通信、便携式电子设备的发展。

0.13μm (2002):推出全球首个低k介质与铜互连整合的SoC制程,打破性能与功耗瓶颈。

90nm (2004):全球首次在量产中应用193nm浸没光刻(Immersion Lithography),晶体管密度和性能全面提升。

应用:手机、笔记本、消费电子、初代智能硬件


台积电的制程技术演进示意图如下:

2. 65nm ~ 55nm

65nm (2005):第一个量产低功耗(LP)制程,同时推出GP、MS/RF等多种衍生制程。

55nm:65nm的简化优化版,尺寸更小,功耗进一步下降,适合IoT与车用市场。

特点:双倍90nm单元密度,能效比显著提升。
应用:智能手机、IoT设备、车载芯片、智能穿戴。


3. 40nm

40nm (2008):首次使用193nm沉浸式光刻+超低k材料,提升性能、降低功耗。

40LP / 40ULP:特别适配智能手机、数字电视、可穿戴设备、低功耗IoT产品。

特色:当时业界最小的SRAM尺寸(0.242µm²)。
扩展技术:RF、嵌入式闪存、BCD工艺。


4. 28nm ~ 22nm

28nm (2011):TSMC推出最完整的28nm制程家族(包括28HPC/28HPC+/28ULP等)。

22ULP / 22ULL (2018):在28nm基础上进一步降低功耗,针对低功耗应用如可穿戴与IoT。

应用:5G射频、汽车雷达、IoT SoC、电池供电型消费品。


5. 20nm

20nm (2014):全球首个采用双重图案化(Double Patterning)的量产制程。

特别强调晶体管与互连能效,适合高性能运算与高密度集成芯片。

里程碑:TSMC最快量产爬坡节点。


6. 16/12nm FinFET

16nm FinFET (2015):TSMC首次引入FinFET 3D晶体管架构,大幅降低漏电流,提高效能。

12nm:16nm的性能增强版,提升密度和功耗比。

适用领域:高性能运算(HPC)、高端手机应用处理器(AP)。


7. 10nm

10nm (2017):比16nm密度提升2.1倍,功耗降低40%。

应用:高端移动处理器。


8. 7nm (N7/N7+)

N7 (2018):大规模量产节点,首次支持智能手机、HPC同步应用。

N7+ (2019):首个商用EUV(极紫外光)光刻工艺的量产节点。

应用:5G芯片、服务器CPUAI加速器。


9. 6nm (N6)

N6 (2020):7nm的演进版,兼容N7 IP,提升性能和密度。

适配范围:智能手机、高性能计算、消费电子。


10. 5nm (N5/N5P/N4/N4P/N4X/N5A)

N5 (2020):第二代EUV节点,提供最佳功耗、性能和面积(PPA)表现。

N5P / N4 / N4P:逐步优化版,持续提升频率与降低功耗。

N4X:专为HPC量身定制的加强版。

N5A:面向汽车应用优化。

特点:适配旗舰手机、AI/HPC加速器、车规级芯片


11. 3nm (N3/N3E/N3P/N3X/N3AE)

N3 (2022):FinFET架构最后一代的高端制程,进一步强化PPA优势。

N3E / N3P:性能增强版。

N3X:针对超高性能计算(HPC)定制。

N3AE:面向车规级应用。

说明:更低功耗与更高密度,主要针对AI、服务器、车载。


12. 2nm (N2) —【即将量产:2025年】

N2:首次引入nanosheet(纳米片)晶体管架构,跨越传统FinFET瓶颈。

特色

超低电阻RDL重新布线层

超高性能MiM电容器

极致能效与晶体管密度

量产时间:预计2025年。

客户进展:主要客户已完成2nm IP设计,开始硅验证阶段。


13. A16 (基于N2的延伸)

A16™:搭载Super Power Rail(SPR)背面供电架构。

优势

速度提升8%-10%

功耗降低15%-20%

芯片密度提升7%-10%

特别适用:HPC复杂信号/密集供电需求芯片。


小结

90nm平面晶体管16nm/7nm FinFET,再到2nm nanosheet,TSMC持续通过架构革命,推动摩尔定律演进。

TSMC不仅做制程,还同步开发配套的IP、封装与测试技术,形成端到端的技术生态。


延伸阅读:

中芯国际(SMIC)的制程技术介绍

芯片销售从入门到实战:大客户销售成功之道

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二、台积电特色制程(Specialty Technologies)解读

TSMC除了在先进工艺(N5、N3、N2节点)领先全球外,还拥有业内最完整、最强大的特色制程(Specialty Technologies)组合,广泛应用于移动设备、汽车电子、医疗、穿戴设备、物联网(IoT)等领域。特色制程主要包括:


1. MEMS & Sensor SoC 技术

技术内容

2011年首创Sensor SoC工艺,把MEMS器件和CMOS逻辑集成在一块芯片上,结合堆叠技术(wafer stacking)。

制程节点覆盖从0.5µm到0.11µm

支持G-sensor、陀螺仪压力传感器、微流体、生物基因芯片等。

代表成就

2018年推出全球首款单片CMOS-MEMS电容式气压计,灵敏度可探测5cm高度变化,封装尺寸小于1mm²

未来规划

开发高灵敏薄膜麦克风(Thin Microphone)。

推动MEMS Si-pillar TSV(硅通孔)技术,用于更高集成度和更小封装。

✅ 工程师要点:MEMS制程打通了传感器与逻辑电路的融合路径,大幅减小体积、功耗,并提升系统性能,适合高端可穿戴、导航等场景。


2. CMOS Image Sensor(CIS)技术

技术内容

0.5µm到12nm节点的完整影像传感器制程平台。

支持手机摄像头、车载影像、机器视觉、医疗影像、安防监控、玩具摄像头等应用。

前沿进展

全球快门(Global Shutter)CIS与增强近红外(NIR)CIS,适配机器视觉自动驾驶

2023年台积电帮助客户推出了动态范围(HDR)全球最高的CIS产品,特别强化了ADAS(高级辅助驾驶系统)和自动驾驶应用。

✅ 工程师要点:台积电在CIS领域不仅量产领先,还不断创新NIR感知、HDR动态范围、速度与能效,机器视觉与车用影像需求是未来重点。


3. Embedded Non-Volatile Memory(eNVM,嵌入式非易失性存储器)

技术内容

包括OTP(一次可编程)、MTP(多次可编程)、Flash、MRAM、RRAM

eFlash平台从0.5µm到40nm,支持消费、工业、车规级应用。

前沿进展

2018年量产40nm车规eFlash

推进28nm eFlash,满足汽车电子和MCU需求。

开发40nm嵌入式RRAM,以及22nm的嵌入式MRAM(通过JEDEC高温寿命验证)。

✅ 工程师要点:eNVM是IoT、MCU和汽车芯片的基础,台积电在低功耗、高可靠性方面深耕,RRAM和MRAM是下一代超低功耗存储器方向。


4. RF / Mixed Signal(MS/RF)技术

技术内容

领先的混合信号/射频(MS/RF)制程,覆盖5G、Wi-Fi 7、IoT无线通信

平台包括12FFC+ RF(N12e为基础)、N6RF/N6RF+16FFC RF

应用方向

支持毫米波(mmWave)频段(28/39/47GHz)和汽车雷达(77/79GHz)。

引入了NCS(非导电应力)和老化模型,优化汽车雷达功率放大器设计。

✅ 工程师要点:5G/毫米波无线通讯智能汽车雷达模块,MS/RF制程直接影响芯片的连接速度、能效与可靠性。


5. 高压(HV)制程技术

技术内容

0.5µm到28nm,覆盖显示驱动、高压模拟应用。

28HV制程基于28HPC+平台,支持0.9V低Vdd,集成128Mb SRAM。

应用方向

面板驱动(OLED)、高端电视、智能手机显示、AR/VR显示(µOLEDoS)。

✅ 工程师要点:HV制程是OLED显示驱动芯片(DDIC)发展的关键,尤其是AR/VR小型高PPI屏幕领域需求爆发。


6. BCD(Bipolar-CMOS-DMOS)功率管理技术

技术内容

节点覆盖0.6µm到40nm,适用于功率管理IC(PMIC)。

40nm第二代BCD技术,兼容ULP工艺(支持5-28V高压组件)。

发展方向

正在开发全球最先进的22nm BCD平台,目标是降低功耗、缩小芯片面积,服务新能源汽车、服务器等高端市场。

✅ 工程师要点:BCD技术提升电源芯片性能和集成度,是车规PMIC和移动设备供电管理芯片的重要制程。


7. Ultra-Low Power(ULP)技术平台

技术内容

节点包括40ULP、22ULL、N12e、N6e

支持超低漏电(ULL)核心设备、低Vdd SRAM、超低能耗逻辑应用。

应用场景

IoT、穿戴设备、智能家居工业4.0智慧城市、AI边缘计算

✅ 工程师要点:ULP技术直接决定了IoT/AIoT设备的续航能力,是能源转型、碳中和背景下芯片能效提升的核心。


总结图表

制程平台 主要节点 代表应用 技术特点
MEMS 0.5µm-0.11µm 传感器芯片 MEMS与CMOS单片整合
CIS 0.5µm-12nm 摄像头、机器视觉 高动态范围、NIR增强
eNVM 0.5µm-40nm MCU、车规存储 eFlash、RRAM、MRAM
RF/MS 12nm-16nm 5G、毫米波雷达 高频/高效能射频
HV 0.5µm-28nm OLED显示驱动 高压低功耗
BCD 0.6µm-40nm PMIC、车载电源 高压集成、低能耗
ULP 40nm-6nm IoT、穿戴AI 超低功耗/低Vdd

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台积电

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台湾集成电路制造股份有限公司(台湾证券交易所代码:2330,美国NYSE代码:TSM)成立于1987年,在半导体产业中首创专业集成电路制造服务模式。2023年,台积公司为528 个客户提供服务,生产11,895 种不同产品,被广泛地运用在各种终端市场,例如高效能运算、智能型手机、物联网、车用电子与消费性电子产品等;同时,台积公司及其子公司所拥有及管理的年产能超过一千六百万片十二吋晶圆约当量。台积公司在台湾设有四座十二吋超大晶圆厂(GIGAFAB® Facilities)、四座八吋晶圆厂和一座六吋晶圆厂,并拥有一家百分之百持有之海外子公司—台积电(南京)有限公司之十二吋晶圆厂及二家百分之百持有之海外子公司—TSMC Washington美国子公司、台积电(中国)有限公司之八吋晶圆厂产能支援。

台湾集成电路制造股份有限公司(台湾证券交易所代码:2330,美国NYSE代码:TSM)成立于1987年,在半导体产业中首创专业集成电路制造服务模式。2023年,台积公司为528 个客户提供服务,生产11,895 种不同产品,被广泛地运用在各种终端市场,例如高效能运算、智能型手机、物联网、车用电子与消费性电子产品等;同时,台积公司及其子公司所拥有及管理的年产能超过一千六百万片十二吋晶圆约当量。台积公司在台湾设有四座十二吋超大晶圆厂(GIGAFAB® Facilities)、四座八吋晶圆厂和一座六吋晶圆厂,并拥有一家百分之百持有之海外子公司—台积电(南京)有限公司之十二吋晶圆厂及二家百分之百持有之海外子公司—TSMC Washington美国子公司、台积电(中国)有限公司之八吋晶圆厂产能支援。收起

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