芯耀
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晶圆厂中使用了大量高腐蚀性、高毒性、易燃易爆或挥发性强的化学品。
高腐蚀性：HF，HCl，H₂SO₄，H₃PO₄，KOH，NaOH等
高毒性：TMAH，Cl₂，PH₃，AsH₃等
易燃易爆：IPA，PGMEA，NMP，SiH₄，B₂H₆，H₂，CH₄等
高挥发性：丙酮，甲苯等
有哪些防护措施？
1，厂务端
①通风柜，通风橱，Gas Cabinet
②废气与废液处理系统
③化学品泄漏检测系统：联网气体监控系统（HF, TMAH, NH₃ 等）实时报警，自动启动抽风和隔离机制
2，应急情况
①应急喷淋与洗眼：化学品使用区域必须配备“15秒可达”的喷淋/洗眼设备
②化学品泄漏应急包，包括：吸附棉、中和剂、封堵塞子、防化手套、简易呼吸器等
3，管理端
①严格按照SOP作业：每一类化学品的接触、稀释、转移、废弃都必须有 SOP
②双人作业
4，个人防护装备
| 防护部位 | 常用装备 | 说明 |
|---|---|---|
| 手部 | 丁腈手套、氟橡胶手套、双层手套 | 根据腐蚀性选择材质 |
| 眼面部 | 护目镜 + 面罩、全封闭面罩 | 防止喷溅 |
| 呼吸系统 | 滤毒面罩（酸性气体/有机蒸汽滤盒）、正压式呼吸器 | HF、Cl₂等需高级防护 |
| 身体 | 无尘服、防化服 | 光刻/湿法/气体区域不同选择 |
| 足部 | 静电鞋、防化靴 | 防液体渗透与静电放电 |
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