芯耀
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一、引言
在半导体先进封装与高端逻辑芯片制造的薄膜沉积环节，化学气相沉积（CVD）设备是实现器件高密度集成与性能跃升的核心支撑，尤其在硅通孔（TSV）互连结构、金属间介质层及钝化层制备中发挥不可替代的作用。泛林半导体（Lam Research）作为全球半导体设备龙头企业，其Striker®系列CVD设备凭借超保形性沉积、低缺陷薄膜制备等核心优势，已成为高端晶圆厂与先进封装企业的标杆级装备，广泛应用于2.5D/3D封装TSV填充、1X nm级逻辑芯片介质层沉积等关键场景。海翔科技推出该系列二手设备拆机/整机供应方案，并配套标准化现场验机评测服务，既精准匹配中小半导体企业进阶高端制造的装备需求，又通过专业性能核验规避二手设备交易风险，为产业技术升级提供高性价比解决方案。
二、Striker®系列设备核心技术特性
Striker®系列设备以先进封装与高端制程适配能力为核心竞争力，技术特性深度契合高密度集成制造需求。在超保形性沉积性能上，该系列设备采用先进的等离子体增强化学气相沉积（PECVD）技术，搭配精准的气体扩散与等离子体能量调控系统，可实现深宽比（AR）≥15的高深宽比结构无缺陷填充，针对TSV互连结构沉积的SiO₂绝缘薄膜台阶覆盖率可达99%以上，有效解决先进封装垂直互连中的间隙填充难题。同时，设备具备低缺陷薄膜制备能力，沉积薄膜的杂质含量＜5ppm，表面缺陷密度＜0.1个/cm²，显著提升器件互连可靠性与使用寿命。
在工艺适配与量产效率上，设备采用模块化多腔室架构，支持CVD与类ALD（原子层沉积）工艺灵活切换，可适配8英寸、12英寸晶圆及多种尺寸封装基板的制造需求，兼容2.5D/3D封装、高端逻辑芯片、高密度存储器件等多种产品生产。单台设备每小时晶圆处理量可达20片以上，搭配高精度自动化传输系统，定位偏差≤0.05mm，保障规模化生产的高效与稳定。此外，设备内置智能工艺监控与原位检测模块，可实时监测沉积温度、压力、薄膜厚度等关键参数，实现工艺异常实时预警，大幅降低产品不良率与设备停机时间。
三、海翔科技拆机/整机供应方案
针对半导体企业差异化采购需求，海翔科技构建多元化供应体系：其一，整机供应方案。所供二手Striker®系列设备均经过全流程深度翻新与性能校准，核心工艺指标达标率≥95%，配套原厂级技术文档、工艺参数库及安装调试服务，确保设备快速适配先进封装与高端制程产线，缩短投产周期。其二，拆机供应方案。聚焦设备核心功能组件，涵盖超保形沉积反应腔、高精度等离子体控制模块、模块化多腔室单元及智能传输系统等，企业可按需替换老化部件，在控制维护成本的同时，保障整机高端制程适配能力。所有设备均符合《二手设备流通技术规范》要求，具备完整的维护维修记录与品质鉴定基础。
四、现场验机评测体系
海翔科技建立符合半导体先进制程与封装设备标准的现场验机评测体系，全面覆盖设备基础性能与工艺核心指标。基础性能评测方面，重点核查真空系统（基压＜2 mtorr，压力控制精度±0.03 torr）、温控系统（腔室温度均匀性＜±2℃）及传输系统稳定性（晶圆定位偏差≤0.05mm），同时依据GB5226.1等环保安全标准，检测设备噪音、污染物排放及电气安全性能。
工艺性能评测采用先进制程与封装试沉积验证模式：通过X射线光电子能谱（XPS）分析薄膜成分纯度（金属杂质含量＜1ppm），利用椭圆偏振仪检测薄膜折射率与厚度均匀性（厚度偏差≤0.15nm），借助原子力显微镜（AFM）评估薄膜表面粗糙度（Ra≤0.3nm），同时专项测试高深宽比结构填充能力（AR=15时填充均匀性≥97%）。全程由资深半导体先进制程与封装设备工程师操作，出具包含详细测试数据的评测报告，实现设备性能可视化核验，保障交易透明性与可靠性。
五、设备应用价值与市场意义
Striker®系列二手设备的市场化供应，对推动半导体产业进阶高端制造与先进封装领域具有重要意义。在先进封装领域，可适配2.5D/3D封装的TSV互连结构绝缘层沉积，助力实现器件高密度集成与体积微型化；在逻辑芯片领域，支持1X nm级先进制程的金属间介质层制备，保障器件微型化后的电学性能稳定性；在存储芯片领域，可实现高密度存储器件的钝化层沉积，提升器件抗干扰能力与环境适应性。海翔科技的供应方案与验机服务，不仅降低了中小半导体企业进入高端制造领域的设备投入门槛，更通过标准化评测保障设备性能，助力企业实现技术升级与成本控制的平衡，对完善半导体高端设备供应链、推动产业高质量发展具有积极作用。
海翔科技 —— 深耕二手半导体设备领域的专业领航者，凭借深厚行业积累，为客户打造一站式设备及配件供应解决方案。
在半导体前段制程领域，我们拥有海量优质二手设备资源，精准匹配芯片制造的关键环节需求；后道封装设备板块，丰富的设备品类覆盖封装全流程，助力客户降本增效。
我们还提供齐全的二手半导体专用配件，从核心部件到精密耗材，为设备稳定运行保驾护航。海翔科技，以多元产品矩阵与专业服务，为半导体产业发展注入强劲动力。
