CPO 封装是几十 Gbps 的高速场景,还要在玻璃上做通孔(TGV)和后续湿法加工,所以玻璃基板的选型有几个硬指标:热膨胀系数(CTE)要匹配硅芯片、高频介电性能要好(低介电常数、低损耗)、不能含碱金属(否则高频下离子迁移导致性能漂移)、化学稳定性要好(耐得住成孔和刻蚀)。
一、首选:无碱铝硅酸盐玻璃
CTE 匹配好:热膨胀系数约 3.0-3.8 ppm/°C,跟硅芯片(约 2.6 ppm/°C)和 PCB 材料都比较接近。
高频介电性能好:介电常数大约在 4.5-5.0(1 MHz),损耗角正切在 0.003-0.005(10 GHz)这个量级,能满足 CPO 高速信号对低损耗、低衰减的需求。
不含碱金属,长期可靠性有保障:这是它相对硼硅酸盐玻璃的核心优势。它用碱土金属氧化物和氧化铝来替代碱金属氧化物,不含 Na₂O、K₂O 这类碱金属,所以不会有碱金属离子在高频电场下迁移、造成介电性能漂移的问题,长期可靠性更有保障。
化学稳定性好:耐酸耐碱,后续做 TGV 成孔和湿法刻蚀时不容易被腐蚀出坑洼。
关于牌号:无碱铝硅酸盐/无碱玻璃是显示和先进封装领域的成熟材料,主要供应商包括康宁(Corning)、AGC(旭硝子)、日本板硝子(NSG)、肖特(SCHOTT)、日本电气硝子(NEG)等。日本板硝子的 OA-10 是常见的无碱玻璃牌号。选型时直接找供应商要 datasheet,重点看 CTE、介电常数、损耗角正切、表面粗糙度这几项。
二、低成本备选:硼硅酸盐玻璃(如 Pyrex 7740)
优点:比钠钙玻璃好很多。CTE 约 3.25 ppm/°C(0-300°C),跟硅比较接近;介电常数约 4.6-4.7(1 MHz),损耗角正切也比钠钙玻璃低不少。
硬伤:仍然含有碱金属氧化物(主要是钠,Na₂O 大约百分之几)。在高频下,这些碱金属离子会迁移,造成介电性能漂移,长期可靠性存疑。
所以定位是:短期性能尚可、CTE 也和硅接近,但因为含碱金属带来的长期可靠性隐患,它只适合低成本、对性能和可靠性要求不高的场景,不是 CPO 高端应用的理想选择。
三、性能最好但工程上一般不用:高纯石英玻璃
它各项性能都是最优的,但因为加工难和成本高,工程上一般不用。
两个致命的工程问题:
一是太硬,激光成孔困难、效率低——CPO 要在玻璃上做通孔(TGV),石英太硬导致成孔这道关键工序很难做、效率低。
二是成本高得离谱——一片石英晶圆的价格能买好几片无碱玻璃。
所以定位是:除非有特殊需求(比如极高频毫米波应用),否则工程上一般不用,而成本和加工难度不划算。
四、完全不适合:钠钙玻璃(普通窗玻璃)
它就是平时见的窗户玻璃、饮料瓶,成本极低,但两个问题都是致命的:
CTE 太高(约 8.5-9.5 ppm/°C):比硅芯片的 2.6 ppm/°C 高出一大截。用它做基板,封装加热后芯片和基板热膨胀严重不一致,应力直接传到通孔金属化层,铜柱和玻璃壁之间开裂几乎是必然的。
碱金属含量高(Na₂O 12-15%):高频下介电损耗大、信号衰减严重,CPO 这种几十 Gbps 的高速场景根本没法用。
五、四种玻璃的对比总览
| 材料体系 | CTE (ppm/°C) | 介电常数 (1 MHz) | 损耗角正切 (10 GHz) | 碱金属含量 | 相对成本 | 是否适合 CPO |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 钠钙玻璃 | 8.5-9.5 | 6.5-7.0 | 0.01-0.02 | 高 (Na₂O 12-15%) | 极低 | 不适合(CTE 太高、损耗大) |
| 硼硅酸盐 (Pyrex 7740) | ~3.25 | 4.6-4.7 | 0.005-0.008 | 中 (Na₂O 数%) | 低 | 低成本备选(含碱、可靠性存疑) |
| 无碱铝硅酸盐 | 3.0-3.8 | 4.5-5.0 | 0.003-0.005 | 无 | 中 | 首选 |
| 高纯石英 | 0.5 | 3.8 | 0.0001-0.0002 | 无 | 极高 | 一般不用(太硬难成孔、太贵) |
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