国内封装关键技术TSV和混合键合产业进展
本文探讨了TSV(硅通孔)与混合键合(Hybrid Bonding)在3D异构集成中的作用及其在国内封装产业的应用现状。TSV技术由长电科技、通富微电、华天科技等企业掌握,已实现量产应用。混合键合技术由长江存储、物元半导体等企业推动,其中长江存储的Xtacking架构在全球存储领域率先应用混合键合技术。国内多家设备制造商也在混合键合设备领域取得突破,促进了国产替代进程。总体来看,中国在TSV和混合键合技术上已具备国际竞争力,有望在未来AI算力爆发中占据核心战略位置。